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1一、真空設(shè)備正壓法

a、壓降法判斷：在*密封所有接觸面的情況下，通過壓力儀表測(cè)試壓力變化情況來(lái)判斷泄漏量的大小，進(jìn)而推斷出該設(shè)備的泄漏程度，但不能就泄漏點(diǎn)進(jìn)行明確定位。

q =（P1-P2）/ΔT

式中P1———充氣結(jié)束后，檢測(cè)開始時(shí)設(shè)備內(nèi)部壓力值，Pa;P2———測(cè)試結(jié)束時(shí)，設(shè)備內(nèi)部壓力值，Pa;ΔT———檢測(cè)總時(shí)間差T2-T1，h

為更加準(zhǔn)確的對(duì)設(shè)備泄漏大小情況進(jìn)行定量判斷，也可換算為泄漏率。

qL =q×V/3600

式中V———真空配件設(shè)備容積，L

根據(jù)設(shè)備的不同，其要求的泄漏率也不相同，適用于對(duì)大型容器泄漏的定性判斷，一般對(duì)于微漏很難檢測(cè)出來(lái)。

b、水浸檢測(cè)：就是在設(shè)備內(nèi)壓力達(dá)到正壓后，將其浸沒于水中，通過觀測(cè)氣泡的情況，來(lái)判斷泄漏的位置和大小，適用小型復(fù)雜腔體密封件的檢測(cè)，可較的確定泄漏點(diǎn)的位置，因此該法又稱為氣泡法。對(duì)于大型設(shè)備，需要足夠大的水槽，同時(shí)，設(shè)備的起吊和搬運(yùn)相對(duì)困難，人員的觀測(cè)也不容易靠近和操作，且此法要注意充氣壓力的控制，壓力過低對(duì)與微漏點(diǎn)不會(huì)產(chǎn)生氣泡，壓力過大會(huì)對(duì)設(shè)備本身和操作人員產(chǎn)生安全隱患，需根據(jù)被檢容器的設(shè)計(jì)情況確定合適壓力范圍。同時(shí)，對(duì)于雙層加套結(jié)構(gòu)，只能判斷是否有漏點(diǎn)，氣泡會(huì)從進(jìn)出水管外溢，不能明確內(nèi)壁的具體漏點(diǎn)位置。

c、定點(diǎn)測(cè)試：即在設(shè)備內(nèi)部達(dá)到正壓后，采用肥皂水對(duì)所有接口和焊縫進(jìn)行涂抹，當(dāng)有泄漏時(shí)，會(huì)發(fā)現(xiàn)明顯的氣泡產(chǎn)生，通過氣泡的大小和頻率可以明顯地定位漏點(diǎn)和明確泄漏量的大小，此法也是氣泡法的一種。此法特別適用于雙層夾套結(jié)構(gòu)的爐體檢測(cè)（如圖3 所示），由于該結(jié)構(gòu)一般只有進(jìn)水口出水口，通過堵塞一個(gè)口，向另一個(gè)口充入正壓，即可對(duì)設(shè)備內(nèi)外所有接口焊縫及板材中的漏點(diǎn)進(jìn)行準(zhǔn)確判斷，且此種結(jié)構(gòu)的可充氣壓力相對(duì)較高些，更便于觀測(cè)，且操作簡(jiǎn)單，不用其他外購(gòu)件和檢測(cè)設(shè)備。

2二、真空設(shè)備負(fù)壓法

a、壓升率法，通過計(jì)算壓力升高的速率，定性判斷泄漏量的大小。

q =（P2-P1）/ΔT

式中P1———停止對(duì)真空腔體抽氣后15 min 時(shí)的真空度，Pa;P2———測(cè)試結(jié)束時(shí)，設(shè)備內(nèi)部的真空度，Pa;ΔT———檢測(cè)總時(shí)間差T2- T1，h

由于設(shè)備的使用工況和對(duì)真空度要求的差異，P1 可能相差幾個(gè)數(shù)量級(jí)，決定了真空抽氣系統(tǒng)的形式。同時(shí), 對(duì)于不同的爐膽形式應(yīng)充分考慮材料放氣的影響（特別是石墨炭氈及硅酸鋁纖維等疏松多孔的保溫材料）,建議對(duì)爐體進(jìn)行抽極限和烘烤,再進(jìn)行壓升率的測(cè)試,通過計(jì)算可以對(duì)泄漏情況做出判斷，但對(duì)漏點(diǎn)位置不能做出明確的定位。

b、丙酮檢漏法：對(duì)于選用兩級(jí)及兩級(jí)以上的真空系統(tǒng)進(jìn)行抽氣，當(dāng)真空度低于10 Pa 以下就可以采用丙酮法進(jìn)行漏點(diǎn)位置的確定。為了便于觀測(cè)，一般是經(jīng)過較長(zhǎng)時(shí)間的抽真空，當(dāng)設(shè)備內(nèi)的壓力下降比較緩慢時(shí)（可認(rèn)為已到達(dá)設(shè)備的極限真空度），采用針管將丙酮對(duì)各接口和焊縫位置進(jìn)行噴灑，此時(shí)，對(duì)真空度進(jìn)行隨時(shí)觀測(cè)，如果有漏點(diǎn)，在丙酮達(dá)到漏點(diǎn)位置的瞬間，由于液體的隔離作用，阻止了大氣的持續(xù)漏入，真空度會(huì)迅速升高，但隨著丙酮液體被吸入設(shè)備腔體內(nèi)部，迅速揮發(fā)氣化，此時(shí)設(shè)備的真空度又會(huì)馬上下降，通過此法可以較為明確的判斷出漏點(diǎn)的位置來(lái)。由于，丙酮為液態(tài)，在噴灑時(shí)對(duì)于垂直地面的焊縫，應(yīng)由底部向上噴灑，以防液體快速流到底部焊縫，影響泄漏點(diǎn)位置的確定。此法對(duì)于真空設(shè)備來(lái)說(shuō)，檢測(cè)成本較低，但考慮到丙酮對(duì)真空系統(tǒng)可能會(huì)帶來(lái)一定的腐蝕作用，需謹(jǐn)慎少量使用此法，特別是在有擴(kuò)散泵的情況下，丙酮會(huì)對(duì)油體產(chǎn)生污染，影響到擴(kuò)散泵的抽氣能力和油的使用壽命，操作人員也要做好自身的防護(hù)工作，防止丙酮接觸人體。

c、氦氣質(zhì)譜分析儀：該方法就是在負(fù)壓法的基礎(chǔ)上，采用質(zhì)譜儀來(lái)進(jìn)行檢漏，其連接方式有多種，筆者根據(jù)實(shí)際的使用，對(duì)為通用和檢漏本低的方式進(jìn)行說(shuō)明，該方法可以對(duì)漏點(diǎn)進(jìn)行位置的確定和泄漏量的判斷（對(duì)于小型腔體，可省去真空系統(tǒng)，采用氦氣質(zhì)譜分析儀直接對(duì)所檢腔體進(jìn)行抽氣檢漏）。

此方法的檢測(cè)精度較高，適合對(duì)氣密性要求很嚴(yán)格的設(shè)備的檢測(cè)，氦氣檢漏儀一次性投資較高，檢測(cè)運(yùn)行成本相對(duì)較低，對(duì)檢測(cè)人員無(wú)身體傷害，是比較理想的檢漏手段。目前的檢漏儀已有國(guó)產(chǎn)化的設(shè)備，已經(jīng)可以是實(shí)現(xiàn)較低真空度的啟動(dòng)檢測(cè)，小可檢漏率已達(dá)到10- 12 cc/sec，報(bào)警點(diǎn)也可進(jìn)行人工選擇。通過筆者使用過的兩臺(tái)檢漏儀比較，隨著技術(shù)的進(jìn)步，目前的起測(cè)點(diǎn)真空度已經(jīng)可以達(dá)到2000Pa，這樣就大大節(jié)省了檢測(cè)前的抽真空時(shí)間，同時(shí)，檢漏儀的體積越來(lái)越小，重量也越來(lái)越輕，更加方便搬運(yùn)。