漢鐘PS系列螺桿真空泵特點(diǎn)：

1 排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積

2線性密封性佳，泵性能*

3結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，維修容易

4電機(jī)水冷設(shè)計，通過防爆認(rèn)證，安全百分比

5 微電腦操作，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全

上海漢鐘干式真空泵 PS系列 
包括機(jī)型  漢鐘真空泵PS80 ，漢鐘真空泵PS160，漢鐘真空泵 

PS180，漢鐘真空泵 PS602，漢鐘真空泵 PS902,漢鐘真空泵 

PS1302,漢鐘真空泵 PS1802
 
中國臺灣漢鐘真空泵PS系列產(chǎn)品特點(diǎn)
螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色
漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺

旋轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無

需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過轉(zhuǎn)子線形良好的密

封效果，*壓力可達(dá)7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路

徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強(qiáng)，加上轉(zhuǎn)子表面披覆

特殊材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。

泵浦溫度控制精準(zhǔn) 
漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良

的轉(zhuǎn)子設(shè)計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式

來降低殼體的溫度，能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度，減少沉積物

的產(chǎn)生，增加真空泵浦的壽命。 

密封馬達(dá)安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用設(shè)計的水冷罐裝密封馬達(dá)，除

了能維持更低的馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)溫度增加馬達(dá)的壽命外，也可*避免制

程氣體外漏的風(fēng)險。

微電腦控制保護(hù)周全 
PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監(jiān)控馬達(dá)電流

、馬達(dá)溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮?dú)饬髁恳约褒X輪箱油位高

低，提供真空泵浦完整的安全性保護(hù)，十分適用于光電、半導(dǎo)體、

太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求*之產(chǎn)業(yè)。

1. 新品真空泵 ：

   中國臺灣漢鐘螺桿式干式真空泵（hanbell),新品真空泵有德國

BECKER貝克系列真空泵，全新Edwards愛德華系列真空泵，具體品牌

型號咨詢。

2. 二手真空泵：

   二手真空泵,有油式/干式/渦卷式/碳片式/冷凍式真空泵,真空系

統(tǒng)設(shè)備等，具體。

優(yōu)勢產(chǎn)品包括：
   漢鐘PS1802，漢鐘PS1302，漢鐘PS902，漢鐘PS602，愛德華RV12

，愛德華RV5，愛德華RV8，愛德華E2M18，愛德華E2M28，愛德華

E2M40，愛德華E2M80，愛德華E2M275，貝克U4.100，貝克U4.40，貝

克VT4.40，貝克VT4.8，紀(jì)維GWSP300，紀(jì)維GWSP600，紀(jì)維GWSP150

，萊寶D65B，萊寶D16B，萊寶D25B，阿爾卡特2033，阿爾卡特2021

，愛德華19號油，愛德華20號油，愛德華70號油，F(xiàn)OMBLIN25/6， 

FOMBLIN16/6，松村MR-200，松村MR-250，松村MR-100，杜邦1525，

愛德華油霧過濾器等