一、ALICAT大流量質量流量控制器產品特點

1、50毫秒內完成穩(wěn)定的控制響應

精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應速度，艾里卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值?？焖?、可重復、穩(wěn)定！

2、操作便捷

• 50-100毫秒控制響應
• 允許用戶自行調節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性
• 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性
• 同一臺設備控制質量流量、體積流量或壓力
• 瞬間啟動、無需預熱：1秒內即可開始流量控制

二、ALICAT大流量質量流量控制器產品系列

MC 標準系列

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為的無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

zui大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響，滿量程壓損zui低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航kong航天、環(huán)境氣體分析等應用的*選擇；zui大量程：0-500 slpm。

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。

MCE / MCV 半導體行業(yè)系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ，專門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。zui大量程：0-20 slpm.

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

*雙向質量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量?？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。

三、ALICAT大流量質量流量控制器常用選配項

• 后置閥門，優(yōu)化真空及背壓應用的控制
• 批量控制模式，依靠快速的閥門響應來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
• CSA認證1類2區(qū) / ATEX認證1類2區(qū)允許設備用于危險環(huán)境
• 9針或15針D-Sub等連接接口可選
• 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
• 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

四、ALICAT大流量質量流量控制器性能參數(shù)