一、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
1、50毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)
精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值。快速、可重復(fù)、穩(wěn)定！
2、操作便捷
? 50-100毫秒控制響應(yīng)
? 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性
? 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性
? 同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力
? 瞬間啟動(dòng)、無需預(yù)熱：1秒內(nèi)即可開始流量控制
三、常用選配項(xiàng)
? 后置閥門，優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制
? 批量控制模式，依靠快速的閥門響應(yīng)來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
? CSA認(rèn)證1類2區(qū) / ATEX認(rèn)證1類2區(qū)允許設(shè)備用于危險(xiǎn)環(huán)境
? 9針或15針D-Sub等連接接口可選
? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
? 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場(chǎng)合
四、性能參數(shù)
指標(biāo) | 質(zhì)量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程） |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時(shí)間 | 100ms |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0-* |
測(cè)量流量范圍 | 128％（過流率） |
zui大耐壓 | 145psi |
輸出信號(hào)（數(shù)字） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號(hào)可選 | RS485，Modbus，Profibus |
輸出信號(hào)（模擬） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號(hào)可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計(jì)而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A） |
