超純水制造歷史進(jìn)程：
*階段：預(yù)處理過(guò)濾器——>陽(yáng)床——>陰床——>混合床
第二階段：預(yù)處理過(guò)濾器——>反滲透——>混合床
目前階段：預(yù)處理過(guò)濾器——>反滲透——>EDI（無(wú)需酸堿再生）
　　近幾十年以來(lái)，混床離子交換技術(shù)（D）一直作為超純水制備的標(biāo)準(zhǔn)工藝。由于其需要周期性的再生且再生過(guò)程中消耗大量的化學(xué)藥品（酸堿）和工業(yè)純水，并造成一定的環(huán)境問(wèn)題，因此需要開(kāi)發(fā)無(wú)酸堿超純水系統(tǒng)。
　　正因?yàn)閭鹘y(tǒng)的離子交換已經(jīng)越來(lái)越無(wú)法滿足現(xiàn)代工業(yè)和環(huán)保的需求，于是將膜、樹(shù)脂和電化學(xué)原理相結(jié)合的EDI技術(shù)成為水處理技術(shù)的一場(chǎng)革命。其離子交換樹(shù)脂的的再生使用的是電能，而不再需要酸堿，因而更滿足于當(dāng)今世界的環(huán)保要求。這一新技術(shù)可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的離子交換（DI）裝置，生產(chǎn)出電阻率高達(dá)18.25MΩ.cm的超純水設(shè)備。
　自從1986年EDI膜堆技術(shù)工業(yè)化以來(lái)，*已安裝了數(shù)萬(wàn)套EDI系統(tǒng)，尤其在制藥、半導(dǎo)體、電力和表面清洗等工業(yè)中得到了大力的發(fā)展，同時(shí)在廢水處理、飲料及微生物等領(lǐng)域也得到廣泛使用。
　EDI設(shè)備是應(yīng)用在反滲透系統(tǒng)之后，取代傳統(tǒng)的混床離子交換技術(shù)（MB-DI）生產(chǎn)穩(wěn)定的超純水。EDI技術(shù)與混合離子交換技術(shù)相比有如下優(yōu)點(diǎn):

◆ 具有更高的產(chǎn)水質(zhì)量，zui高可達(dá)18.25MΩ*cm超純水標(biāo)準(zhǔn)。
◆ 脫鹽率高，出水質(zhì)更穩(wěn)定， 
◆ 水利用率高出，達(dá)95%
◆ 樹(shù)脂無(wú)需酸堿再生，無(wú)污水排放，更環(huán)保。
◆ 運(yùn)行、操作、維護(hù)方便，全程自動(dòng)化。
◆ 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)、視產(chǎn)水要求可將模塊不斷堆積，以適應(yīng)更大產(chǎn)水量的要求
◆ 流量范圍從1m3/h到450m3/h以上
◆ 運(yùn)行成本低、能耗少，每產(chǎn)水3.8m3/h，耗電1KW　　

反滲透超純水設(shè)備典型工藝流程為： 
　　1: 預(yù)處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點(diǎn) 
　　2: 預(yù)處理－一級(jí)反滲透－二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點(diǎn)
　　3: 預(yù)處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點(diǎn)
　　水質(zhì)符合美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級(jí)）