【原裝*】美國陶氏(美國羅門哈斯樹脂)UP6040半導(dǎo)體級拋光樹脂
【原裝*】美國陶氏(美國羅門哈斯樹脂)UP6040半導(dǎo)體級拋光樹脂
AMBERJET UP6040半導(dǎo)體級混床離子交換樹
AMBERJET UP6040是一種專門為了用于zui高純度的水處理系統(tǒng)中的終端精制器所設(shè)計(jì),制造生產(chǎn)的半導(dǎo)體級混床離子交換樹脂。此預(yù)先混合的產(chǎn)品是由依當(dāng)量平衡比例的高交換容量,*再生的凝膠型強(qiáng)酸陽樹脂及強(qiáng)堿陰樹脂所組合的。這些樹脂是經(jīng)由羅門哈斯公司的噴射制程(jetting process)所生產(chǎn)的具的物理及化學(xué)穩(wěn)定性的均一顆粒型樹脂。二種樹脂顆粒大小的分布是經(jīng)過特別設(shè)計(jì),以避免當(dāng)樹脂與水?dāng)嚢钑r,陽陰樹脂因?yàn)橹亓Φ牟煌蛛x。如此的設(shè)計(jì),可確保終端精制塔內(nèi)的混床樹脂是*混合的,并發(fā)揮的交換平衡效益。均一顆粒的特性使得樹脂加強(qiáng)了混床樹脂的離子交換速率,使得樹脂可操作于較高的采水流量,并達(dá)到壓差及純度的平衡點(diǎn)。上述的特點(diǎn),使得此樹脂可在消耗zui少的清洗水情形下,得到zui高純度的純水。
AMBERJET UP6040是因應(yīng)使用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的超純水系統(tǒng),及其它類似用途的需求,所特殊設(shè)計(jì)的不再生型終端精制混床樹脂。此樹脂的使用,使得所有種類的離子,如二氧化硅、TOC及次微米顆粒濃度等的泄漏量,進(jìn)入了新低的紀(jì)元。由于為不再生型,此新種類的半導(dǎo)級混床樹脂不會受到再生系統(tǒng)的影響,并可在采水中發(fā)揮的特性。AMBERJET UP6040并不建議用于可再生的混床系統(tǒng)中。
應(yīng)用及特性
在半導(dǎo)體廠內(nèi)的超純水處理系統(tǒng)是一龐大的,復(fù)雜的系統(tǒng),并包含了許多不同的單元,而整個系統(tǒng)的功能及設(shè)計(jì)主要是為了得到*的超純水。雖然沒有任何單一的單元可以確保zui終的采水水質(zhì),但是終端精制混床是超純水在接觸到半導(dǎo)體芯片前的zui后一道化學(xué)精制的處理程序,其重要性是不可忽視的。不像對化學(xué)物質(zhì)呈現(xiàn)惰性的管路及過濾材料,離子交換樹脂是帶化學(xué)性反應(yīng)的聚合物,所有的待處理水會*的通過樹脂,因此精制混床樹脂是除去微量化學(xué)污染物質(zhì)的zui后一道防線。除此之外,這些樹脂絕不能釋出任何物質(zhì),進(jìn)而污染到不能間斷的超純水供水系統(tǒng)。因?yàn)檫@些嚴(yán)格的條件,終端精制混床樹脂必須是zui高的品質(zhì),且同時必須是正確的被使用的。
1、樹脂特性
型號 | AMBERJET UP6040 | |
類型 | 陽樹脂H+ | 陰樹脂OH- |
含濕量,% | 44-51 | 54-60 |
總交換容量,eq/L | 2.00 | 1.10 |
均一系數(shù) | 1.20 | 1.20 |
2、建議入水水質(zhì)
人水水質(zhì) | >17MW-cm |
入水二氧化硅濃度 | <2ppb |
入水總有機(jī)碳濃度(TOC) | <15ppb |
3、樹脂含量
H型,% | 99 |
OH型,% | 95 |
Cl型,% | 0.5 |
CO3型,% | 5.0 |
SO4型,% | 0.1
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