zui小微調(diào)距離：0.01mm
X.Y軸移動范圍：0-75mm
傳動機(jī)構(gòu)：滾珠螺桿
zui小分解度：0.01
驅(qū)動馬達(dá)：伺服馬達(dá)
外觀尺寸：400*300*1000mm
測定速度范圍：0-200mm/min
zui大測定高度：150mm

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