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PIE等離子清洗機

參考價 100
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號Tergeo-Plu
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2022/7/22 14:15:30
  • 訪問次數(shù)1066
產(chǎn)品標簽:

等離子清洗機

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 邁可諾公司全稱“邁可諾技術(shù)有限公司”,英文簡稱“MYCRO”。這是一家富有創(chuàng)新精神的化高科技公司,專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實驗室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商,公司網(wǎng)址為 。  作為工業(yè)實驗室市場領(lǐng)域的,邁可諾從事開發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),幫助客戶和合作伙伴取得成功?! ∵~可諾成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。

主營產(chǎn)品:勻膠機,旋涂儀,甩膠臺,勻膠臺,涂層機,涂膠機,涂膜機,旋轉(zhuǎn)涂敷儀, HPC,PPC, PAC,SCE系列等離子清洗機, Cargille光學試劑,光刻機/曝光機,壓力機, 壓片機, 熱壓機,WABASH熱壓機, CARVER熱壓機,LAURELL勻膠機、HOT PLATE熱板 烤膠機
Laurell勻膠機
 Harrick等離子清洗機
 Carver手動壓片機
 Uvitron紫外固化箱
 Novascan紫外臭氧清洗機
 Wenesco/EMS/Unitemp加熱板
 Kinematic程序剪切儀
Laurell EDC系統(tǒng),濕站系統(tǒng)
 NXQ光刻機
 Anatech等離子系統(tǒng)
 Wabash/Carver自動壓片機

光學試劑,勻膠機,等離子清洗機,熱板,光刻機,壓片機
頻射 13.56MHz高頻射頻
1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器;

2、7英寸觸摸屏控制界面,全自動操作;

3、標配75W版本,可選150W版本;

4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。
PIE等離子清洗機 產(chǎn)品信息

二、Tergeo系列等離子清洗機的特點

113.56MHz高頻射頻發(fā)生器;

2、7英寸觸摸屏控制界面,全自動操作;

3、標配75W版本,可選150W版本;

4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。

 

三、技術(shù)參數(shù)

1、控制系統(tǒng)

1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,支持多種工作方式。

2)程序控制:可編程,總共有20個程序,每個程序有3個清潔步驟。

2、反應(yīng)腔體

1)腔體材質(zhì):圓柱形石英玻璃艙;

2)腔體容積:5.6L;

3)腔體尺寸:內(nèi)徑:160毫米,深度:280毫米。

3、射頻電源

1)射頻頻率:13.56MHz;

2)射頻功率:標配0~75W;從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào),可選0~150W;。

4、等離子源

1)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

2)外置電極設(shè)計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5、氣體控制

1)氣路控制:標配一路MFC;可選配三路MFC

2)質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量;

3)一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字: 基本型等離子清洗機 擴展型等離子清洗機 等離子表面處理儀 等離子表面處理系統(tǒng) 臺式等離子清洗機
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