一、ALICAT多種氣體標定質量流量計產品特點
操作簡單
Alicat 質量流量計(M系列)作為一個獨立設備，帶有多功能數(shù)字顯示屏，用戶可通過面板按鈕調節(jié)參數(shù)，無需連接但腦或其他任何復雜的編程軟件。
測量精確
標準型Alicat 質量流量計(M系列)的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精選配項則可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性價比
Alicat氣體質量流量計(M系列)本身耗電極小，從而降低了系統(tǒng)運營的成本，且相比與同類產品，其壓損亦相對較小，降低壓損意味著更多氣體進入到系統(tǒng)中，而不是停留在測量儀器中。除質量流量外，M系列質量流量計還可同時測量體積流量、壓力和溫度，您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量，是監(jiān)控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。
性能
M系列質量流量計可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，配有多種模擬信號輸出及RS-232數(shù)字信號輸出。該系列質量流量計亦有便攜式型號(MB系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款二等標準流量校準設備。
反應靈敏
10毫秒典型反應時間
體積嬌小
ALICAT多種氣體標定質量流量計嬌小的本體使其極易被安裝于系統(tǒng)中或作為一款單獨的校準設備隨身攜帶。
高重復性
Alicat 的技術使得質量流量計幾乎沒有可移動部件，所有零件都被內置固定，腔體內不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復性。M系列質量流量計的重復性可達±0.2% F.S。
值得信賴
現(xiàn)有超過90000臺Alicat設備正被使用在不同領域中，如：科學研究、泄漏測試、環(huán)境監(jiān)測、真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。
二、性能參數(shù)
指標 | ALICAT氣體質量流量計 |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....2000SLPM，3000SLPM，4000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程） |
重復性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時間 | 10ms |
標準狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0-* |
測量流量范圍 | 128％（過流率） |
zui大耐壓 | 145psi |
輸出信號（數(shù)字） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
輸出信號（模擬） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A） |
