特性:產(chǎn)品名稱:氣體質(zhì)量流量控制器(MFC/MFM)
標(biāo)準(zhǔn)量程(N2):0~5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM;
0~1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM;
準(zhǔn)精度:±1%F.S; 重復(fù)精度:±0.2%F.S
響應(yīng)時間:電特性 <10sec 氣特性<1~4sec
線性:±(0.5~1)%F.S 工作壓差范圍:0.05~0.3MPa
耐壓:3,10MPa; 工作環(huán)境溫度:5~45℃
輸入輸出信號電壓:0~+5.00V
電源:+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K,輸出電流不大于3mA)
電連接器:D14pin
外形尺寸:130*28*121mm
重量:約1.0kg
接口尺寸:Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞....
VCR接頭:Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........ DSN系列氣體質(zhì)量流量控制器, 即稱Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
產(chǎn)品實(shí)拍圖: