流量計氧氣氮氣空氣甲烷氬氣氫氣流量控制器

一、概述

具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門等氣體的檢測和控制。

流量計氧氣氮氣空氣甲烷氬氣氫氣流量控制器能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

二、技術(shù)參數(shù)

1、 測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2、   流量范圍： DN3-3  30-300ml/min

DN3-4  250-2500ml/min

DN3-6  600-6000ml/min

DN3-8  1200-12000ml/min

注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；

(b)以上流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。

(c)每個口徑量程范圍均可擴大

(d)特殊需要可廠家單獨標定

3、  zui大允許誤差：±1.5%FS

4、  工作溫度范圍：0-55℃；

5、  工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

6、  供電電源：24VDC

7、  輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

8、  環(huán)境溫度：0-55℃；

9、  顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。

精度等級高是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代。

安裝與接線

1、   安裝注意事項

安裝時必須注意場合，不能安裝于管路有雜質(zhì)的地方；

安裝時應(yīng)使流量計上的流向標志所示方向與流體流動方向*；

2、   上游管道應(yīng)有10D（D為管道內(nèi)徑）的直管段，下游應(yīng)有5D的后直管；

3、   儀表安裝處的管道內(nèi)應(yīng)光滑清潔，無突出，流量調(diào)節(jié)閥應(yīng)安裝在流量計的下游；

4、   儀表水平安裝，安裝使用中嚴防漏氣；