化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐

化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐特點：

采用多功能高溫設(shè)計，可實現(xiàn)化學(xué)氣相沉積和石墨化處理一次性完成。

使用溫度高達(dá)2600，并可長時間穩(wěn)定可靠運行。

采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，可實現(xiàn)全溫度段的顯示和控制。

采用IGBT為主功率器件的感應(yīng)加熱變頻控制系統(tǒng)，使得設(shè)備節(jié)能省電，諧波分量小，對外部設(shè)備無干擾。

進(jìn)出氣體的精確流量顯示和控制，保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 

采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

特制的過濾系統(tǒng)，對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進(jìn)行有效處理；

技術(shù)參數(shù)：