光氧催化氧化是指在一定波長光照條件下半導(dǎo)體材料發(fā)生光生載流子的分離,然后光生電子和空穴在與離子或分子結(jié)合生成具有氧化性或還原性的活性自由基,這種活性自由基能將有機物大分子降解為二氧化碳或其他小分子有機物以及水,在反應(yīng)過程中這種半導(dǎo)體材料也就是光催化劑本身不發(fā)生變化利用高能高臭氧紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進而產(chǎn)生臭氧。
       當化學(xué)物質(zhì)通過吸收能量(如熱能、光子能量等)，可以使自身的化學(xué)性質(zhì)變得更加活躍甚至被裂解。當吸收的能量大于化學(xué)鍵鍵能，即可使得化學(xué)鍵斷裂，形成游離的帶有能量的原子或基團。有機廢氣物質(zhì)通過吸收該波段的光子，而該波段的光子能量大于絕大多數(shù)的化學(xué)鍵鍵能，使得有機物質(zhì)得以裂解；再通過裂解產(chǎn)生的臭氧將其氧化成簡單、無害、穩(wěn)定的物質(zhì)，如H2O和CO2等。