IN USA系列是Teledyne API的一個(gè)品牌，OG-5000系列臭氧發(fā)生器設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)超潔凈，高純度和高濃度的臭氧氣體，非常適合各種半導(dǎo)體工藝應(yīng)用。
水冷式臭氧發(fā)生器通過(guò)在高強(qiáng)度電場(chǎng)中激發(fā)分子氧來(lái)產(chǎn)生臭氧氣體，這是通過(guò)在兩個(gè)電極之間施加交流電壓而建立的。為了獲得高強(qiáng)度的電場(chǎng)，兩個(gè)電極表面放置在非常緊密的機(jī)械接近位置。當(dāng)跨越間隙整合的場(chǎng)的強(qiáng)度大于填充間隙的氧的擊穿電壓時(shí)，發(fā)生放電并產(chǎn)生臭氧。添加ppm級(jí)別的“摻雜”或“摻加”氣體（如氮?dú)猓┛纱笙薅鹊靥岣叱粞踺敵隽浚⒋_保隨著時(shí)間的推移高度穩(wěn)定地產(chǎn)生臭氧。
OG-5000臭氧發(fā)生器系列中的高純度潤(rùn)濕材料結(jié)合了創(chuàng)新的電池設(shè)計(jì)，*的密封技術(shù)和*的控制器，確保生產(chǎn)高純度和高濃度臭氧氣體，以滿(mǎn)足所有苛刻要求在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。
水冷式臭氧發(fā)生器產(chǎn)品特性
◆ 高純度臭氧
◆ 非常高的臭氧濃度
◆ 比其他工藝氣體更環(huán)保
◆ 低采購(gòu)成本
◆ 無(wú)耗材
◆ 緊湊和模塊化
◆ 經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù)
技術(shù)規(guī)格
◆ 大臭氧產(chǎn)量：OG-5000-A 210g/Hr
OG-5000-B 150g/Hr
◆ 遠(yuǎn)程控制： 通過(guò)前面板或自動(dòng)遠(yuǎn)程控制
通過(guò)SCI控制器遠(yuǎn)程關(guān)閉或伺服控制
原料氣
◆ 氧氣等級(jí)：6個(gè)9或更高，
◆ 氮級(jí)：5個(gè)9或更高（僅0.5％）
◆ 進(jìn)料氣體流速：0.5-20slpm
運(yùn)行條件
◆ 臭氧出口壓力：15至40 psig（通常設(shè)定為30 psig）
◆ 工作環(huán)境溫度：5-35攝氏度
◆ 冷卻水溫度：18攝氏度+- 3攝氏度（不要低于當(dāng)?shù)芈饵c(diǎn))
◆ 冷卻水流量：1 to 1.2 gpm at 60 psig
◆ 冷卻水質(zhì)量：任何晶圓廠級(jí)別(去離子水)
◆ 電源（VAC）：208/240 VAC單相或三相
◆ 頻率：50或60Hz
◆ 電流：15 amps Breaker 10 Amps RMS
物理規(guī)格
◆ 尺寸（寬x高x深）：19“x 10.5”18“（48厘米x27厘米x45厘米）
◆ 重量：82磅 （27公斤）
