GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器
特點
- 可編程多氣體/多量程功能
- Brooks® MultiFlo™ 氣體數(shù)據(jù)庫包含數(shù)千種天然氣體測定結(jié)果，可用于建立修正函數(shù)
- 流量響應(yīng)時間不足 1 秒，精度可達目標(biāo)應(yīng)用設(shè)定值的 1%
- 非常適用于各種氣體
- 快速響應(yīng)，哈氏合金傳感器
- 擁有獨立于工具通信并可輕松接入的診斷服務(wù)端口
- 多協(xié)議通信選件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模擬接口
GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器
優(yōu)勢
- MultiFlo™ 技術(shù)能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設(shè)定新氣體和滿量程，從而大限度延長運行時間
- MultiFlo™ 編程功能簡單、易用；60 s 內(nèi)即可完成新氣體的選擇操作
- 可大幅降低設(shè)備商和大型終端用戶的流量控制器庫存
- 得益于基于標(biāo)準(zhǔn)的高級計量系統(tǒng)和校準(zhǔn)技術(shù)，產(chǎn)品擁有出色的工藝氣體測量精度
- 耐腐蝕傳感器擁有*的長期穩(wěn)定性，可確保良率和產(chǎn)能大化
- 對用戶開放的服務(wù)端口簡化了故障排除和診斷操作
- 各種橡膠密封件為各種應(yīng)用提供了經(jīng)濟實惠的性能靈活性
- 多協(xié)議通信接口可集成至現(xiàn)有系統(tǒng)
GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器
應(yīng)用
- 太陽能電池化學(xué)氣相沉積
- 生命科學(xué)實驗室
- 真空處理
- 納米技術(shù)/MEMS 制造
- 等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統(tǒng)
- 非常適用于管匯系統(tǒng)/氣體輸送系統(tǒng)
GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器
| 型號 | GF40 |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm – 50 slm |
| 精度 | 1% S.P. 35-100%
0.35% F.S. 2-35% |
| 大壓力 | 150 psig/10 bar |
| 重復(fù)性 | <0.20% S.P. |
| 多氣體多量程 | MultiFlo™ Available |
| 診斷能力 | Status Lights: MFC Health, Network Status
Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack |
| 模擬通訊 | 0-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA |
| 數(shù)字通訊 | DeviceNet™
EtherCAT™ Profibus® RS485 |
