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HMDS尾氣處理設(shè)備，HMDS廢氣凈化系統(tǒng)

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公司名稱(chēng)上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
品牌其他品牌
型號(hào)
所在地上海
廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間2018/10/11 17:10:59
訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)3219

產(chǎn)品標(biāo)簽:

HMDS HMDS廢氣 HMDS尾氣

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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“雋思儀器”）是一家專(zhuān)業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線(xiàn)纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能等行業(yè)；多年來(lái)，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨，為國(guó)內(nèi)外廣大用戶(hù)提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏(yíng)得了國(guó)內(nèi)外客戶(hù)的*好評(píng)，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，真空無(wú)氧烘箱，無(wú)塵無(wú)氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗(yàn)箱，高低溫試驗(yàn)箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測(cè)儀，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀，電線(xiàn)電纜檢測(cè)儀器，真空烘箱，黑蒜試驗(yàn)機(jī)，橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專(zhuān)業(yè)服務(wù)能力，做一個(gè)專(zhuān)業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理，在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程，形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶(hù)的*稱(chēng)贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì)，以飽滿(mǎn)的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來(lái)！

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HMDS烘箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦洌邷責(zé)o氧烘箱，PI烤箱，真空無(wú)氧烘箱，無(wú)塵無(wú)氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，超低溫試驗(yàn)箱

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

處理廢氣種類(lèi)	工業(yè)廢氣

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)產(chǎn)生的HMDS尾氣處理設(shè)備，HMDS廢氣凈化系統(tǒng)將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。從而產(chǎn)生的尾氣需要凈化處理后才可排放在大氣中。

HMDS尾氣處理設(shè)備，HMDS廢氣凈化系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

HMDS尾氣處理設(shè)備，HMDS廢氣凈化系統(tǒng)簡(jiǎn)介

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。從而產(chǎn)生的尾氣需要凈化處理后才可排放在大氣中。

HMDS尾氣處理設(shè)備，HMDS廢氣凈化系統(tǒng)參考資料

一、VOC廢氣處理技術(shù)——熱破壞法熱破壞法是指直接和輔助燃燒有機(jī)氣體，也就是VOC，或利用合適的催化劑加快VOC的化學(xué)反應(yīng)，終達(dá)到降低有機(jī)物濃度，使其不再具有危害性的一種處理方法。
二、VOC廢氣處理技術(shù)——吸附法有機(jī)廢氣中的吸附法主要適用于低濃度、高通量有機(jī)廢氣?，F(xiàn)階段，這種有機(jī)廢氣的處理方法已經(jīng)相當(dāng)成熟，能量消耗比較小，但是處理效率卻非常高，而且可以*凈化有害有機(jī)廢氣。實(shí)踐證明，這種處理方法值得推廣應(yīng)用。
三、VOC廢氣處理技術(shù)——生物處理法生物法凈化voc廢氣是近年發(fā)展起來(lái)的空氣污染控制技術(shù)，它比傳統(tǒng)工藝投資少，運(yùn)行費(fèi)用低，操作簡(jiǎn)單，應(yīng)用范圍廣，是有望替代燃燒法和吸附凈化法的新技術(shù)。從處理的基本原理上講，采用生物處理方法處理有機(jī)廢氣，是使用微生物的生理過(guò)程把有機(jī)廢氣中的有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為簡(jiǎn)單的無(wú)機(jī)物，比如CO2、H2O和其它簡(jiǎn)單無(wú)機(jī)物等。這是一種無(wú)害的有機(jī)廢氣處理方式。生物凈化法實(shí)際上是利用微生物的生命活動(dòng)將廢氣中的有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成簡(jiǎn)單的無(wú)機(jī)物(如二氧化碳和水)以及細(xì)胞物質(zhì)等，主要工藝有生物洗滌法，生物過(guò)濾法和生物滴濾法。
四、VOC廢氣處理技術(shù)——變壓吸附分離與凈化技術(shù)變壓吸附分離與凈化技術(shù)是利用氣體組分可吸附在固體材料上的特性，在有機(jī)廢氣與分離凈化裝置中，氣體的壓力會(huì)出現(xiàn)一定的變化，通過(guò)這種壓力變化來(lái)處理有機(jī)廢氣。
五、VOC廢氣處理技術(shù)——氧化法對(duì)于有毒、有害，而且不需要回收的VOC，熱氧化法是適合的處理技術(shù)和方法。氧化法的基本原理：VOC與O2發(fā)生氧化反應(yīng)，生成CO2和H2O。

關(guān)鍵詞：催化劑