超純水設(shè)備處理高純水：既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于10～18.3MΩ*cm極限值。超純水,是一般純水設(shè)備很難達(dá)到的程度，通常采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、高純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過(guò)濾、高性能離子交換（拋光）、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm。
制備工業(yè)用高純水的工藝流程
電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種：
采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→陽(yáng)床→陰床→混床（復(fù)床）→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過(guò)濾器→軟水器-精密過(guò)濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
- 采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原?rarr;沙炭過(guò)濾器→軟水器-精密過(guò)濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→拋光混床-紫外線殺菌器-終端精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
超純水設(shè)備工程實(shí)例
3t/h電子行業(yè)用高純水系統(tǒng)
原水管道－原水加壓泵－多介質(zhì)過(guò)濾器－活性炭過(guò)濾器－軟水器－精密過(guò)濾器－反滲透機(jī)－中間水箱-EDI裝置－中間水箱-拋光樹(shù)脂-紫外線殺菌器-終端精密過(guò)濾器－用水點(diǎn)-回中間水箱
