變壓吸附(簡稱PSA)制氧裝置，在常溫條件下，利用分子篩選擇吸附空氣中的氮氣，降低吸附塔壓力來脫附分子篩中的氮氣，從而實現(xiàn)吸附－脫附循環(huán)操作，連續(xù)制取純度90~95%的氧氣從而實現(xiàn)配套臭氧脫硝制氧機。

本裝置采用兩塔制VPSA法，利用分子篩從空氣中吸附氮氣，分離提取氧氣，制得93％的富氧?？諝饨?jīng)過過濾器進入鼓風機，在鼓風機的輸送下從吸附塔下部進入。吸附塔下部填充活性氧化鋁，其作用是去除空氣中的水分子和二氧化碳分子，以免使沸石分子篩“中毒”。吸附塔的上部是沸石分子篩，當空氣流經(jīng)填滿分子篩的固定床時，空氣中的氮氣分子在吸附作用力下擴散到分子篩固體中去，氧氣分子和氬氣原子則通過床層到緩沖罐中。緩沖罐與氧壓機相連，將產(chǎn)品氣壓縮到用戶所需的壓力，送到儲氣罐中，供用戶使用。經(jīng)過一段時間的吸附，分子篩顆粒中充滿氮氣分子，達到吸附飽和階段，此時關閉空氣進口閥，利用塔內(nèi)的富氧空氣對剛抽真空的另一塔進行沖洗，等壓力降到某一值時關閉均壓閥，同時打開真空泵進口閥對塔體抽真空，到一定真空度后再利用另一塔內(nèi)的富氧氣及緩沖罐中部份產(chǎn)品氣對沸石分子篩沖洗，從而使吸附劑*解吸。吸附劑解吸過程完成后，用產(chǎn)品氣對塔進行充壓，充壓至某一低真空度值后關閉緩沖閥，打開鼓風機出口閥對吸附塔進行充壓，為下一次吸附做準備。