等離子清洗機(jī)產(chǎn)品代工
我司由多名*從事等離子體技術(shù)應(yīng)用研究,設(shè)計(jì)制造和銷售的業(yè)內(nèi)*人士創(chuàng)建。核心技術(shù)發(fā)軔于歐洲,同時(shí)充分借鑒歐美的*技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)的資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高性能的等離子體處理系統(tǒng)。集團(tuán)合作團(tuán)隊(duì)包括EUROPLASMA、ACXYS等,應(yīng)用領(lǐng)域涉及電子、光電、汽車、塑料、紡織、生物、醫(yī)療、化工、日用品及家電等行業(yè)。設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)豐富:歐洲總部成立于1973年,在業(yè)內(nèi)有30多年等離子設(shè)備制造及研發(fā)經(jīng)驗(yàn);自 1985年交付世界上*臺(tái)真空設(shè)備以來(lái),在范圍內(nèi)已經(jīng)銷售12300多臺(tái)設(shè)備;技術(shù)實(shí)力雄厚:中國(guó)市場(chǎng)成立以來(lái),已賣出八百多臺(tái)等離子設(shè)備。
等離子體刻蝕在集成電路制造中已有40余年的發(fā)展歷程,早70年代引入用于去膠,80年代成為集成電路領(lǐng)域成熟的刻蝕技術(shù)。等離子刻蝕采用的等離子體源常見的有容性耦合等離子體(CCP-capacitively coupled plasma)、感應(yīng)耦合等離子體ICP。
等離子清洗機(jī)產(chǎn)品代工
等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來(lái)愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能。