半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備是一種將離子交換技術(shù)，離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù)。在半導(dǎo)體加工過(guò)程中需要使用水進(jìn)行處理，該水質(zhì)的要求非常高，不能含有任何離子雜質(zhì)。半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備采用*的制水技術(shù)，有效去除水中雜質(zhì)，保證設(shè)備的出水水質(zhì)。屬高科技綠色環(huán)保技術(shù)。EDI超純水設(shè)備備具有連續(xù)出水、無(wú)需酸堿再生和無(wú)人值守等優(yōu)點(diǎn)，已在制備純水的系統(tǒng)中逐步代替混床作為精處理設(shè)備使用。這種*技術(shù)的環(huán)保特性好，操作使用簡(jiǎn)便，愈來(lái)愈多地被人們所認(rèn)可，也愈來(lái)愈多廣泛地在醫(yī)藥、電子、電力、化工等行業(yè)得到推廣。
半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備主要是在直流電場(chǎng)的作用下,通過(guò)隔板的水中電介質(zhì)離子發(fā)生定向移動(dòng),利用交換膜對(duì)離子的選擇透過(guò)作用來(lái)對(duì)水質(zhì)進(jìn)行提純的一種科學(xué)的水處理技術(shù)。電滲析器的一對(duì)電極之間,通常由陰膜,陽(yáng)膜和隔板(甲、乙)多組交替排列,構(gòu)成濃室和淡室(即陽(yáng)離子可透過(guò)陽(yáng)膜,陰離子可透過(guò)陰膜).淡室水中陽(yáng)離子向負(fù)極遷移透過(guò)陽(yáng)膜,被濃室中的陰膜截留；水中陰離子向正極方向遷移陰膜,被濃室中的陽(yáng)膜截留,這樣通過(guò)淡室的水中離子數(shù)逐漸減少,成為淡水,而濃室的水中,由于濃室的陰陽(yáng)離子不斷涌進(jìn),電介質(zhì)離子濃度不斷升高,而成為濃水,從而達(dá)到淡化,提純,濃縮或精制的目的。
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備工藝特點(diǎn)：
無(wú)需酸堿再生：在混床中樹(shù)脂需要用化學(xué)藥品酸堿再生，而EDI則消除了這些有害物質(zhì)的處理和繁重的工作，保護(hù)了環(huán)境。
連續(xù)、簡(jiǎn)單的操作：在混床中由于每次再生和水質(zhì)量的變化，使操作過(guò)程變得復(fù)雜，而EDI的產(chǎn)水過(guò)程是穩(wěn)定的連續(xù)的，產(chǎn)水水質(zhì)是恒定的，沒(méi)有復(fù)雜的操作程序，操作大大簡(jiǎn)便化。
降低了安裝的要求：EDI超純水系統(tǒng)與相當(dāng)處理水量的混床相比，有較不的體積，它采用積木式結(jié)構(gòu)，可依據(jù)場(chǎng)地的高度和窨靈活地構(gòu)造。模塊化的設(shè)計(jì)，使EDI在生產(chǎn)工作時(shí)能方便維護(hù)。
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備工藝流程：
1、預(yù)處理-反滲透-水箱-陽(yáng)床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
2、預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥裝置(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
3、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
4、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制拋光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象。
半導(dǎo)體超純水設(shè)備水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)要求:
半導(dǎo)體超純水設(shè)備出水水質(zhì)要符合美國(guó)ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國(guó)電子工業(yè)電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)我國(guó)電子工業(yè)超純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域：
1、電廠化學(xué)水處理
2、電子、半導(dǎo)體、精密機(jī)械行業(yè)超純水
3、食品、飲料、飲用水的制備
4、小型純水站，團(tuán)體飲用純水
5、精細(xì)化工、精尖學(xué)科用水
6、其他行業(yè)所需的高純水制備
7、制藥工業(yè)工藝用水
8、海水、苦咸水的淡化
