國(guó)華GH-216等離子體表面清洗系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置表

機(jī)臺(tái)名稱

昆山國(guó)華等離子清洗設(shè)備PCB層壓處理

機(jī)臺(tái)型號(hào)

GH-216

機(jī)臺(tái)用途

5種氣體通入，不同組合用于不同工藝制造，可用于高頻板PTFE類、軟硬結(jié)合板、多層軟板等除膠渣等制造工藝，柔性板化金前后清洗、打線邦定前清洗等處理，SMT前清洗等

技術(shù)參數(shù)

備注

1

機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格

1450mm(W)×1720mm(H)×1300 mm(D)

2

真空室規(guī)格

進(jìn)口鋁進(jìn)口鋁 600(W)×600(H)×600(D))mm

3

電極板規(guī)格

進(jìn)口鋁 582(W)×500D)mm

4

單層有效處理區(qū)尺寸

530(W)× 450D)mm

5

真空電極結(jié)構(gòu)

水平電極板10層, 處理9層工件

極板間距/上極板到托架

51mm/32.5mm

6

真空泵系統(tǒng)

真空泵組韓國(guó)優(yōu)成

7

PLC自動(dòng)控制系統(tǒng)硬件

OMRON/SIEMENS-PLC及擴(kuò)展模塊(D/A轉(zhuǎn)換、A/D轉(zhuǎn)換、溫度控制）

日本歐姆龍/西門子

8

人機(jī)工控系統(tǒng)

觸摸屏式全中文界面

9

溫度控制系統(tǒng)

OMRON/SIEMENS溫度傳感模塊，PID閉環(huán)控制，溫度可控

10

真空測(cè)定系統(tǒng)

皮拉尼電阻式真空計(jì)

日本愛發(fā)科

11

真空供氣系統(tǒng)

Ф6品牌軟管+不銹鋼鎖套管路

進(jìn)口優(yōu)質(zhì)不銹鋼

12

真空排氣系統(tǒng)

全不銹鋼管路+波紋管

進(jìn)口優(yōu)質(zhì)不銹鋼

13

破真空系統(tǒng)

倒計(jì)時(shí)自動(dòng)開合啟動(dòng)

14

氣體控制系統(tǒng)

電磁閥控制

日本CKD

15

氣體計(jì)量系統(tǒng)

2路精確質(zhì)量流量控制計(jì)：MFC

SevenStar

16

等離子發(fā)生器

額定功率：0-1000W，射頻全自動(dòng)匹配（國(guó)華自主研發(fā)）

17

其他組件

國(guó)內(nèi)外元器件

18

機(jī)臺(tái)總重

約600kg

19

額定功率

額定功率 4.5KW

20

機(jī)臺(tái)供電

 AC-380V-50Hz，三相五線

21

單次處理時(shí)間

10-60分鐘不等（根據(jù)產(chǎn)品特征，時(shí)間設(shè)定不同）

22

工作真空度

0.15～0.3Torr （可根據(jù)要求設(shè)定，可恒定真空度）

23

真空泵極限壓力

5pa以下

24

抽真空時(shí)間

抽到工作真空≤180秒

25

破真空時(shí)間

≤60秒

26

供氣方式

電磁閥式

27

流量計(jì)調(diào)節(jié)范圍

2路獨(dú)立MFC  0-500sccm（毫升/分鐘）,      

28

操作方式

人工取放工件，一鍵啟動(dòng)自動(dòng)控制