昆山國(guó)華等離子清洗設(shè)備廣泛生活應(yīng)用

要應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)、科研 、醫(yī)學(xué)及小規(guī)模的生產(chǎn)領(lǐng)域。特點(diǎn)：成本低，整機(jī)機(jī)械、電氣結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用，易維護(hù)?？刂?方式：手動(dòng)或者自動(dòng)控制模式，利用各簡(jiǎn)單元器件的巧妙 組合成自動(dòng)控制體系，各參數(shù)調(diào)整好后，一鍵完成整個(gè)清洗工藝。等離子體◎電源功率、清洗時(shí)間、氣體流量、凈化真空度等參數(shù)可設(shè)置?！蛏漕l電源（核心器件采用美國(guó)進(jìn)口）◎氣體質(zhì)量流量計(jì)采用美國(guó)進(jìn)口，由模擬量輸入輸出，量程為0-200sccm可在量程范圍內(nèi)無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)、針閥等控制工藝氣體流量?！蚯逑赐瓿捎刑崾疽簟蚍瓷涔β蔬^(guò)大報(bào)警◎工藝氣體耗盡報(bào)警◎泵熱過(guò)載報(bào)警◎反應(yīng)倉(cāng)泄露報(bào)警◎電極采用高通量等離子結(jié)構(gòu)，牢固可靠易拆卸。◎反應(yīng)倉(cāng)為矩形不銹鋼腔體，水平電極放置，間距可調(diào)?！蛘婵毡貌捎秒p腔式旋片泵，極限真空度可達(dá)2Pa以下，一般采用外置。◎真空泵可選配液位低報(bào)警裝置

昆山國(guó)華等離子清洗設(shè)備廣泛生活應(yīng)用，等離子體的作用我們也介紹一下：

應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、COG前、LED制程、器件封裝前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。該設(shè)備等離子體頻率13.56MHz；射頻電源功率0～600W可調(diào)。產(chǎn)品使用環(huán)境條件為潔凈廠房和要求干燥的地方。

等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個(gè)部分做一個(gè)陳述:

一、控制單元:

目前國(guó)內(nèi)使用的等離子清洗機(jī)，包括國(guó)外進(jìn)口的，控制單元主要分為半自動(dòng)控制、全自動(dòng)控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。

而控制單元又分為兩個(gè)大的部分:1)電源部分:主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱(chēng)為微波等離子，主要的功能作用，前面已經(jīng)提到了，這里就不一一介紹了。2)系統(tǒng)控制單元:分三種，按鈕控制(半自動(dòng)、全自動(dòng))、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)。

二、真空腔體:

真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的:1)不銹鋼真空腔體，2)石英腔體。

三、真空泵:

真空泵分為兩種:1 干泵、2)油泵