利用白光干涉測量法的原理，NanoCalc用一個(gè)寬波段的光源來測得不同波長的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc根據(jù)這一特性來進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc中，不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的準(zhǔn)確性。NanoCalc的膜厚測量范圍為1nm到1mm，只要待測材料有一定的透射或反射就能通過NanoCalc進(jìn)行膜厚測量，這些材料包括氧化物、氮化物和保護(hù)膜層等，通常這些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃燈。
光學(xué)膜厚系統(tǒng)光譜儀1nm以上的金屬膜厚也能測量，只要不是*不透光的。對(duì)于已知的系統(tǒng)，3層以內(nèi)的多層膜厚測量可以在不到一秒鐘時(shí)間內(nèi)完成。
通常擬合曲線和實(shí)際曲線由于干涉會(huì)引起一些差異，NanoCalc的算法充分考慮到了這一點(diǎn)，從而可以在比較粗糙的表面進(jìn)行測量。
光學(xué)膜厚系統(tǒng)光譜儀產(chǎn)品主要優(yōu)勢和特點(diǎn)
- UV/VIS/NIR高分辨率的配置
- 測量準(zhǔn)確度在1nm，精度在0.1nm
- 可測量zui大10層薄膜
- 膜厚測量zui小可至1nm，zui大可至1mm
- 可測量zui小1nm厚的透明金屬層
- 提供試驗(yàn)臺(tái)及附件用于復(fù)雜外形材料的測量
- 對(duì)表面缺陷和光滑度不敏感
- 龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫，保證各種材料的精確測量
快 速： | 每次測量只需輕點(diǎn)一下鼠標(biāo)，測量結(jié)果立即呈現(xiàn)在顯示屏上，不到一秒鐘。應(yīng)用于在線模式下，可接受到采樣信號(hào)后，立即測量。 |
準(zhǔn) 確： | 分辨率0.1nm，重復(fù)性0.3nm，準(zhǔn)確度優(yōu)于1%，并且還有數(shù)百種材料組成的龐大材料庫，幫助您準(zhǔn)確分析您的薄膜。同時(shí)NanoCalc為光學(xué)測試系統(tǒng)，無任何運(yùn)動(dòng)部件，不會(huì)由于多次測量產(chǎn)生回程誤差等機(jī)械運(yùn)動(dòng)誤差，可長時(shí)間穩(wěn)定工作。 |
無 損： | 光學(xué)無損檢測，無需像臺(tái)階儀、SEM等需破壞樣品進(jìn)行測量。 |
靈 活： | 重量約為3.5kg，體積為180*150*263mm，USB連接方式，自適應(yīng)90-240V的電壓，攜帶方便，安裝簡單，可任意放置于實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)線甚至辦公桌上使用。擁有多種特種配件，可適用如非平面測量，顯微測量，mapping等特殊要求。 |
易 用： | 軟件界面直觀，操作簡便，用戶體驗(yàn)出色。無需專業(yè)知識(shí)以及復(fù)雜的技術(shù)培訓(xùn)，預(yù)先設(shè)置好測試配方后，每次重復(fù)調(diào)用即可。 |
性價(jià)比高： | 相對(duì)于傳統(tǒng)膜厚測量設(shè)備，NanoCalc擁有非常高的性價(jià)比。 |
