復合型壓力傳感器傳感器是專門為流體力學實驗要求非常小的安裝尺寸而設計的，它利用硅–硅鍵合MEMS微機械加工技術使得集成硅膜片有效尺寸小，固有響應頻率高，彈性力學特性優(yōu)良，穩(wěn)定可靠，對流場影響小，精度高于壓電動態(tài)壓力傳感器，成為動壓測試中壓電壓力傳感器的換代產(chǎn)品在爆轟動態(tài)、空氣動力學測量標準中都*本類壓力傳感器,可生產(chǎn)探針形、扁平薄餅形（1.5-4mm）。

復合型壓力傳感器

其中的差壓敏感元件采用一體化結構，耐靜壓值高，堅固、可靠。高、低壓端均采用隔離膜片保護，因此，兩個壓腔均可接觸具有一定腐蝕性和導電性的流體介質，被測差壓通過隔離膜片和充灌的硅油傳遞到硅壓敏元件上，實現(xiàn)了差壓的精確測量。敏感芯片采用美國生產(chǎn)的高精度和高穩(wěn)定性的擴散硅壓阻式壓力敏感芯片。產(chǎn)品經(jīng)美國MAXIM公司的傳感器芯片1452進行計算機線性校正和溫度補償，具有高可靠性。

采用雙列直插封裝結構。通過激光修正電阻實現(xiàn)大范圍的溫度補償，以及調節(jié)差動放大器的增益來校正傳感器的壓力靈敏度變化。應用于醫(yī)療儀器，海拔高度和空速，過程控制，工廠自動化，真空檢測，手持校正儀，檢漏，睡眠窒息監(jiān)測，*/呼吸器，風道流量等方面。

◆技術參數(shù)
量 程： 0～-1,-10,-50,-100KPa, -100KPa,-50KPa～0，綜合精度：0.1%FS、0.2%FS、0.5%FS
輸出信號： 4～20mA(二線制)、0～5V、1～5V、0～10V(三線制) 
供電電壓： 24DCV(9～36DCV) 介質溫度： -20～85℃ 環(huán)境溫度：常溫(-20～85℃) 
負載電阻： 電流輸出型：大800Ω；電壓輸出型：大于50KΩ 
絕緣電阻：大于2000MΩ/50VDC 響應時間：＜1ms密封等級： IP65 *穩(wěn)定性能： 0.1%FS/年 
振動影響：在機械振動頻率20Hz～1000Hz內，輸出變化小于0.1%FS