SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實(shí)現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊1、以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器”＊1它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1：
自選
特點(diǎn)
- 低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高，可更好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
- 全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
- 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2自動(dòng)功能縮短＊3了大約11秒
- 具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測(cè)器)”＊4
- 具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊4
*2：
和日立SEM S-3400N相比
*3：
根據(jù)觀察條件的不同，時(shí)間會(huì)有變動(dòng)
*4：
自選
掃描電子顯微鏡規(guī)格
項(xiàng)目 | 描述 | |
二次電子分辨率 | 3.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm高真空模式) | |
背散射電子分辨率 | 4.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm低真空模式) | |
放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率＊5） | |
加速電壓 | 0.3～30kV | |
可變壓力范圍 | 6～650Pa | |
大樣品尺寸 | 直徑 200 mm | |
樣品臺(tái) | X | 0～100mm |
Y | 0～50mm | |
Z | 5～65mm | |
R | 360° | |
T | -20～90° | |
可觀察區(qū)域 | 直徑 130 mm(旋轉(zhuǎn)并用) | |
大樣品高度 | 80mm（WD＝10mm） | |
馬達(dá)臺(tái) | 5軸標(biāo)配 | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中的鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可動(dòng)光闌 | |
探檢測(cè)器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器 | |
EDX分析 WD | 10 mm(取出角35°) | |
圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows®7(有更改，恕不另行通知) |
圖像顯示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) | |
