DF200C系列質(zhì)量流量控制器-數(shù)字式 | |
量程(N2) | 3SCCM-10SLPM(FS) |
氣體 | 非腐蝕氣體；腐蝕氣體單獨(dú)說(shuō)明 |
精度 | ±1.0%SP(＞35%FS)、 ±0.35%FS(≤35%FS) |
重復(fù)性 | ±0.25%FS |
有效范圍 | 2-100 |
響應(yīng)時(shí)間 | 1秒以?xún)?nèi) |
耐壓 | 1.0Mpa |
壓力 | 0.5Mpa |
工作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 |
溫度范圍 | 5~50℃ |
精度保證溫度 | 15~35℃ |
保存溫度 | -10~60℃ |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) |
材質(zhì) | 本體SUS316、SUS316L |
密封圈VITON，選配N(xiāo)BR或FKM | |
電氣接口 | DB9 |
通訊接口 | RJ45 |
模擬信號(hào) | 0-5V輸入/輸出 |
供電 | +24VDC(±10%)300mA；±15VDC(±10%)300mA |
管路連接 | 標(biāo)配1/4F9 |
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
重量 | 約850g |
