性能/參數(shù)

BASIS系列質(zhì)量流量控制器-OEM

流量范圍

0-100SCCM、1000SCCM、20SLPM、50SLPM

標定氣體

內(nèi)置7條氣體可選擇

精度(調(diào)零后)

±(1.5%Rd+0.5%FS)

重復性

±0.5%Rd

漂移(零點/滿量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范圍

1-100

響應(yīng)時間

100毫秒(調(diào)整)

啟動預熱時間

1秒內(nèi)

標準工況

25ºC & 14.696 psia

工作溫度范圍

0~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-90%RH(非冷凝)

耐壓

10Bar

進口工作壓力

4Bar內(nèi)

安裝方向

任意

閥門狀態(tài)

常閉

材質(zhì)

SUS不銹鋼、密封圈VITON

數(shù)字信號

RS485(ACSII、MODBUS-RTU)

模擬信號

標準0-5V 選配:4-20mA

電氣接口

標準DB9

供電電壓

+24VDC，200mA