奧林巴斯紅外線觀察用顯微鏡物鏡是可觀察晶圓內(nèi)部的近紅外線(波長:700-1300 nm)觀察的物鏡。LCPLN-IR系列物鏡采用校正環(huán)對不同硅厚度進行補正的物鏡。
適用于晶圓內(nèi)部觀察等近紅外領(lǐng)域觀察的特殊鏡頭
LCPLN-IR可利用校正環(huán)補正硅質(zhì)厚度或玻璃厚度
奧林巴斯紅外線觀察用顯微鏡物鏡
物鏡 | 倍率 | N.A(開口數(shù)) | W.D.(焦點距離)(mm) | F.N.(視場) | 玻璃厚度 修正(mm) | 硅厚度 修正(mm) |
LMPLN-IR/LCPLN-IR | 5X | 0.1 | 23 | 22 | - | - |
10X | 0.3 | 18 | 22 | - | - | |
20X | 0.45 | 8.3 | 22 | 0-1.2 | 0-1.2 | |
50X | 0.65 | 4.5 | 22 | 0-1.2 | 0-1.2 | |
100X | 0.85 | 1.2 | 22 | 0-0.7 | 0-1.0 |
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