擴(kuò)散硅壓力傳感器遲滯和不可重復(fù)性的綜合影響。對(duì)許多傳感器來(lái)說(shuō)，“精確度”會(huì)由于溫度，零點(diǎn)平衡等因素而比標(biāo)稱值更低。像所有物理設(shè)備系統(tǒng)一樣，會(huì)在溫度的環(huán)境下會(huì)產(chǎn)生錯(cuò)誤甚至無(wú)法使用。一般每個(gè)傳感器將會(huì)有兩個(gè)溫度范圍，分別是工作范圍和補(bǔ)償范圍。補(bǔ)償范圍包含在工作范圍之內(nèi)。
擴(kuò)散硅壓力傳感器
這種自動(dòng)調(diào)零壓力變送器主要由以下部件組成：感壓頭、感壓元件、引壓孔、與感壓元件相連接的進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)換的應(yīng)變計(jì)、彈性體、直徑為 0.3mm的金屬毛細(xì)管、包裹毛細(xì)管的螺紋桿。其中，感壓元件為由高彈性的合金材料制成的感壓彈性元件，或是采用經(jīng)應(yīng)力釋放和硬度提升，并經(jīng)過真空熱處理和真空鈦碳化物鍍膜處理的15~5PH的不銹鋼Armoloy涂層感壓膜片，兩者均具有良好的耐高溫性能。感壓元件焊接于感壓頭上，并與毛細(xì)管相連接，毛細(xì)管上端為彈性體。位于彈性體上端的應(yīng)變計(jì)連接有可將所得信號(hào)放大，并與遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)相兼容的自動(dòng)調(diào)零（Auto-Zero）放大電路。感壓頭、彈性體及應(yīng)變計(jì)等元件皆位于一個(gè)封閉的殼體內(nèi)。
是將組成全橋的應(yīng)變計(jì)粘貼在毛細(xì)管的一端膜片上。測(cè)量時(shí)，一端膜片受壓，通過介質(zhì)傳遞到另一端粘貼好應(yīng)變計(jì)的彈性體上，應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生阻值變化（俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)），并通過自動(dòng)調(diào)零放大電路進(jìn)行放大，再傳輸給PLC上位機(jī)控制顯示或執(zhí)行監(jiān)控。即自動(dòng)調(diào)零放大電路采用新的CMOS工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)信號(hào)的放大過程，直接輸出0.5~4.5V、0~5V、0~10V及4~20Ma的放大信號(hào)，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行輸出信號(hào)零點(diǎn)和滿度的自動(dòng)調(diào)節(jié)和效驗(yàn)。
