化工廠熱水鍋爐廢氣處理設備廢氣源→除塵冷凝器（除去鍋爐廢氣中的粉塵和冷凝部分霧狀氣體，降低氣體溫度）→高效除塵脫硫塔(吸收掉粉塵以及顆粒物，吸收二氧化硫，硫化氫等酸性氣體，為等離子提供優(yōu)良的運行環(huán)境)→低溫等離子設備(破壞廢氣分子結(jié)構(gòu)，轉(zhuǎn)化為無污染物質(zhì))→光氧催化設備（進一步氧化分解廢氣)→高壓風機(高壓的吸力作用下將風抽出車間)→洗滌塔(洗滌塔水洗小分子碎片，利于檢測達標)→煙囪高空排放。
在化學反應過程中，利用催化劑降低燃燒溫度，加速有毒有害氣體*氧化的方法，叫做催化燃燒法。由于催化劑的載體是由多孔材料制作的，具有較大的比表面積和合適的孔徑，當加熱到300~450℃的有機氣體通過催化層時，氧和有機氣體被吸附在多孔材料表層的催化劑上，增加了氧和有機氣體接觸碰撞的機會，提高了活性，使有機氣體與氧產(chǎn)生劇烈的化學反應而生成CO2和H2O，同時產(chǎn)生熱量，從而使得有機氣體變成無毒無害氣體。
煤碳燃燒后的煙，國家環(huán)評中主要的指標為：煙塵、SO2，NOX，即要求的除塵、脫硫、脫硝，常用的凈化工藝為：高溫脫硝→冷卻器→高溫布袋除塵器→水洗脫硫。
對于中小型鍋爐，脫硝很難很貴，只考慮脫硫除塵即可。如果想過環(huán)評，凈化方法是：冷卻器→高溫布袋除塵器→水洗脫硫；省錢的方法是：復合水洗除煙塵脫硫法，此種方法除煙塵效率高90%，一般80%左右，過環(huán)評有點費勁，但除煙塵效果還是很好的。
化工廠熱水鍋爐廢氣處理設備煙氣經(jīng)過先經(jīng)過脫硝塔中，從塔體下部進口進入塔體，臭氧噴射泵將臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧噴射塔中，臭氧流向朝下，與煙氣進行逆向接觸，進行充分融合后，臭氧分子將NO氧化為易溶于溶液的NO2。然后經(jīng)脫硝塔出氣口進入到脫硫塔中，，經(jīng)均流板均布后的煙氣上升，而漿液通過四個噴淋層的霧化噴嘴，向吸收塔下方成霧罩形狀噴射。形成液霧高度疊加的噴淋區(qū)。漿液液滴快速下降，均勻上升的煙氣與快速下降液形成逆向流。煙氣中所含的污染氣體由于易溶于水，絕大部分被清洗入漿液，與漿液中的堿性離子發(fā)生化學反應而被脫除。這樣通過消耗脫硫劑作為吸收反應劑。煙氣中的S02、 SO3、被分離出去，而煙氣中包含的大部分的固體如煙灰，也大部分被液霧包裹而從煙氣中分離進入漿液經(jīng)過脫硫脫硝后的氣體中的氮氧化物和硫化物絕大部分已經(jīng)被吸收處理，然后經(jīng)過風機將氣體引入到活性炭吸附塔中進行深度處理，后經(jīng)煙囪排出。
