等離子清洗機(jī)能夠*消除材料表面的有機(jī)污染物或者無(wú)機(jī)污染物，改善浸潤(rùn)性，可以明顯改變這些表面的粘接性及焊接強(qiáng)度并去除殘留物。離子化過(guò)程能夠容易地控制和安全地重復(fù)實(shí)現(xiàn)?？梢哉f(shuō)，有效的表面處理對(duì)于產(chǎn)品的可靠性或過(guò)程效率的提高是至關(guān)重要的，等離子技術(shù)也是目前理想的等離子表面改性技術(shù)。
在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中，晶圓芯片表面會(huì)存在各種微粒、金屬離子、有機(jī)物及殘留等沾污雜質(zhì)，為避免污染物對(duì)芯片處理性能造成嚴(yán)重影響及缺陷，在保證不破壞芯片處理及其他表面特性的前提下，半導(dǎo)體晶圓在制造的過(guò)程中，需要經(jīng)過(guò)多次的表面清洗步驟，而等離子清洗機(jī)是晶圓光刻膠的理想清洗設(shè)備。
等離子清洗機(jī)對(duì)晶圓光刻膠的應(yīng)用：
等離子清洗機(jī)晶圓光刻膠去除包括處理、灰化/光刻膠/聚合物去除、介電質(zhì)刻蝕等等。使用等離子清洗機(jī)不僅*去除光刻膠和其他有機(jī)物，而且活化晶圓表面，提高晶圓表面浸潤(rùn)性。只需要通過(guò)等離子清洗設(shè)備的簡(jiǎn)單處理，就能將自由基將高分子聚合物*清除干凈，包括在很深且狹窄尖銳的溝槽里的聚合物。達(dá)到其他清理方式很難完成的效果。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，幾乎每道工序中都需要進(jìn)行清洗，其目的是為了*去除器件表面的微粒、有機(jī)物和無(wú)機(jī)物的沾污雜質(zhì)，圓片清洗質(zhì)量的好壞對(duì)器件性能都有嚴(yán)重的影響。等離子清洗機(jī)具有工藝簡(jiǎn)單、操作方便 、沒(méi)有廢料處理和環(huán)境污染等問(wèn)題，等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝中具有操作方便 、效率高、表面干凈、無(wú)劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量，且等離子清洗機(jī)不用酸、堿及有機(jī)溶劑等
等離子清洗機(jī)應(yīng)用于晶圓表面處理常用于去除晶圓表面的微粒，*去除光刻膠和其他有機(jī)物、活化及粗化晶圓表面浸潤(rùn)性。
等離子清洗機(jī)(plasmacleaner)也叫等離子表面處理儀,等離子刻蝕機(jī)，電漿清洗機(jī)，等離子活化機(jī)，等離子體技術(shù)作為一項(xiàng)低能耗、清潔、環(huán)保、處理均勻的全新的高科技技術(shù),利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。通過(guò)等離子表面活化，等離子技術(shù)可以改善絕大多數(shù)物質(zhì)的性能：潔凈度、親水性、斥水性、粘結(jié)性、標(biāo)刻性、潤(rùn)滑性、耐磨性
plasma等離子清洗機(jī)是干式清洗設(shè)備，有著濕法清洗*的優(yōu)點(diǎn)，它在清潔材料表面的同時(shí)，還能對(duì)材料表面進(jìn)行活化，有利于材料進(jìn)行下一道的涂覆粘接等工藝。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合。 通過(guò)其處理，能夠改善材料的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。
等離子體清洗機(jī)表面活化是物體經(jīng)過(guò)等離子體清洗機(jī)處理之后表面能增強(qiáng)、提高粘合度，附著力；等離子體清洗機(jī)表面刻蝕指材料表面通過(guò)反應(yīng)氣體，等離子被選擇性地刻蝕，被刻蝕的材料轉(zhuǎn)化為氣相并被真空泵排出，處理后的材料微觀比表面積增加并具良好親水性；材料表面涂層、清洗、蝕刻、活化一臺(tái)等離子清洗機(jī)輕松搞定
等離子清洗機(jī)對(duì)表面清洗，可以清洗表面上的脫模劑和添加劑等，而其活化過(guò)程，則可以確保后續(xù)的粘接工藝和涂裝工藝等的品質(zhì)，對(duì)于涂層處理而言，則可以進(jìn)一步改善復(fù)合物的表面特性。使用這種等離子技術(shù)，可以根據(jù)特定的工藝需求，高效地對(duì)材料進(jìn)行表面預(yù)處理。
。等離子處理機(jī)的表面涂覆功能在給材料進(jìn)行保護(hù)的同時(shí)也在材料表面形成了一層新的物質(zhì)，對(duì)后序粘結(jié)和印刷工藝中進(jìn)行改善。提高材料粘接、親水、附著力等特性
plasma清洗機(jī)，等離子處理機(jī)設(shè)備在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面潤(rùn)濕性能，提高油墨、涂層、鍍層附著力,增強(qiáng)材料表面能、親水性.......
5、等離子清洗機(jī)的刻蝕物理作用
用等離子清洗機(jī)，等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不僅**了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用材料表面進(jìn)行處理達(dá)到凹蝕蝕刻的效果，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高材料間的粘接力與持久力和材料表面的潤(rùn)濕性能。
一臺(tái)等離子清洗機(jī)，就可以完成對(duì)材料的表面改性，提高附著力、活化、接枝、涂層、刻蝕，真正幫客戶解決材料表面問(wèn)題，杜絕粘接開(kāi)膠，提高油墨附著力，涂裝脫漆，焊接不牢固，密封不嚴(yán)漏氣等問(wèn)題........
