高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) TEMD600產(chǎn)品概述
1、適用：大專院校、科研院所及企業(yè)進(jìn)行薄膜新材料的科研與小批量制備。
2、產(chǎn)品特點(diǎn)/用途：
?設(shè)備一體化設(shè)計(jì)，占地面積小，性價(jià)比高，性能穩(wěn)定，使用維護(hù)成本低；
?適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、有機(jī)膜，也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等；
?適用于制備光學(xué)薄膜、導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜等。
高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) TEMD600技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | TEMD600 |
| 真空腔室結(jié)構(gòu) | 立式圓柱形側(cè)開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng) |
| 真空腔室尺寸 | Φ600×H750mm |
| 加熱溫度 | 室溫～300℃ |
| 旋轉(zhuǎn)基片臺(tái) | 平板型Φ350mm，或球罩型基片臺(tái)可選 |
| 膜厚不均勻性 | ≤±5.0% |
| 考夫曼離子源 | 可選 |
| 蒸發(fā)源 | 電子槍8KW 6穴坩堝 國產(chǎn)進(jìn)口可選，配2-3組電阻蒸發(fā) |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏人機(jī)界面半自動(dòng)控制系統(tǒng) |
| 占地面積 | 長×寬：L2500×W1600mm |
| 總功率 | ≥17KW |
北京泰科諾科技有限公司自2003年成立以來，一直專注于真空設(shè)備的研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造，是一家集真空薄膜新材料沉積設(shè)備、真空技術(shù)應(yīng)用設(shè)備等相關(guān)設(shè)備及其工藝的研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售、服務(wù)于一體的*。
公司的研發(fā)中試孵化基地位于毗鄰雄安新區(qū)的任丘經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，距離未來的雄安高鐵站約20公里，占地面積20000㎡,不僅建有包括機(jī)加工、電氣、結(jié)構(gòu)組裝，調(diào)試等多個(gè)中試生產(chǎn)車間和辦公樓以及其它輔助廠房；同時(shí)建有研發(fā)工藝、服務(wù)客戶的開放實(shí)驗(yàn)室。公司還聘請(qǐng)了國內(nèi)外真空行業(yè)zi深的專家、教授作為本公司的技術(shù)顧問，確保真空設(shè)備產(chǎn)品高水平，始終保持較強(qiáng)的自主研發(fā)能力、*的設(shè)計(jì)概念、領(lǐng)xian的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。
