等離子清洗機(jī) 灰化光刻膠聚合物剝離設(shè)備是高精度的干法清洗設(shè)備，等離子清洗機(jī)處理范圍為納米級(jí)別的有機(jī)和無機(jī)污染物。 等離子清洗機(jī)外觀簡潔，高度集成化，該設(shè)備外觀簡潔、高度集成化，可應(yīng)用在半導(dǎo)體、微納電子、MEMS、PCB、 光學(xué)電子、光學(xué)制造、汽車電子、醫(yī)療產(chǎn)品、生命科學(xué)、食品行業(yè)等領(lǐng)域，可對(duì)各種材料的表面進(jìn)行有機(jī)物去除、清潔、靜電消除，化學(xué)修飾或涂層沉積。
等離子清洗機(jī) 灰化光刻膠聚合物剝離設(shè)備清潔、改性、光刻膠灰化
等離子清洗機(jī)除了具有材料表面清洗、表面活化、表面蝕刻、表面涂層外，還能去除有機(jī)物以及無機(jī)物的殘留物
等離子清洗機(jī)去殘膠以及內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應(yīng)用
等離子清洗機(jī)用于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓去膠、蝕刻，芯片粘接前處理、半導(dǎo)體封裝、BGA封裝、COB、COG、COF、ACF工藝有效去除表面油性污垢和有機(jī)污染物粒子，提升封裝穩(wěn)定性
等離子處理機(jī)清洗微電子元件，電路板上的鉆孔或銅線框架
等離子清洗機(jī)提高黏附性，消除鍵合問題
等離子清洗機(jī)能對(duì)Teflon特氟龍表面活化、硅膠、ABS、PP、PE、PC、PET表面活化以及其他塑料材質(zhì)清洗活化，提高材料粘接強(qiáng)度及印刷油墨、涂層、鍍層牢固度。
等離子清洗機(jī)產(chǎn)生親水或疏水表面
等離子清洗機(jī)廣泛用于1、等離子表面活化/清洗2、等離子處理后粘合3、等離子蝕刻/活化4、等離子去膠;5、等離子涂鍍(親水,疏水)6、增強(qiáng)邦定性7、等離子涂覆8、等離子灰化和表面改性等場合通過等離子清洗機(jī) 灰化光刻膠聚合物剝離設(shè)備處理，能夠改善材料表面的浸潤能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂
等離子清洗機(jī)用于光刻膠剝離或灰化，作為干法清洗等離子清洗機(jī)可控性強(qiáng)，一致性好，不僅*去除光刻膠有機(jī)物，而且還活化和粗化晶圓表面，提高晶圓表面浸潤性
晶圓清潔 - 等離子清洗機(jī)用于在晶圓凸點(diǎn)工藝前去除污染，還可以去除有機(jī)污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化。
晶圓刻蝕 - 等離子清洗機(jī)預(yù)處理晶圓的殘留光刻膠和BCB，重新分配圖形介電層，線條/光刻膠刻蝕，等離子清洗機(jī)應(yīng)用于晶圓材料的附著力增強(qiáng)，去除多余的塑封材料/環(huán)氧樹脂，增強(qiáng)金焊料凸點(diǎn)的附著力，晶圓減壓減少破碎，提高旋涂膜附著力，清潔鋁焊盤。
