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ICP-2B型標準電感耦合等離子體刻蝕機

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公司名稱武漢賽斯特精密儀器有限公司
品牌其他品牌
型號
所在地武漢市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間2020/11/16 21:42:33
訪問次數(shù)303

產(chǎn)品標簽:

耦合等離子體刻蝕機

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公司介紹主營產(chǎn)品

武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業(yè)研發(fā)，以力學試驗機儀器為主，同時銷售各種、中低端分析儀器?，F(xiàn)有員工60多人，公司成功開發(fā)了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件，并采用全數(shù)字化，操作簡捷，*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標準、國家標準、行業(yè)標準的要求，公司亦通過了ISO9001質(zhì)量體系認證和國家計量體系認證，榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。

產(chǎn)品廣泛應用于電子、高校、研究機構(gòu)、環(huán)保機構(gòu)、航天、石油化工、紡織制造、第三方檢測機構(gòu)、研究院、新能源、集成電路、芯片、封裝測試、半導體行業(yè)、顯示器領(lǐng)域、光電材料、鋰電池、機械生產(chǎn)等領(lǐng)域。并與武漢理工大學、華中科技大學等建立了長期合作，每年投入大量研究經(jīng)費，招攬各方技術(shù)人才加盟突破國內(nèi)技術(shù)壁壘，不斷攻克新的技術(shù)難題，另外公司還積極拓展海外業(yè)務(wù)，產(chǎn)品遠銷越南，印度，埃及等國家和地區(qū)。

本著“專業(yè)品質(zhì)，專業(yè)服務(wù)”為宗旨，以“科技、品質(zhì)、競爭、創(chuàng)新”為理念，通過不斷汲取新的技術(shù)，新的理念，繼續(xù)開發(fā)研制新產(chǎn)品，并為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的售前，售中，售后服務(wù)。熱烈歡迎廣大新老朋友業(yè)函，來電，蒞臨我公司參觀指導！

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加工定制	是

本設(shè)備為單室高真空系統(tǒng)，它主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報警系統(tǒng)等組成。
ICP-2B型標準電感耦合等離子體刻蝕機

ICP-2B型標準電感耦合等離子體刻蝕機產(chǎn)品信息

一. 系統(tǒng)描述

本設(shè)備為單室高真空系統(tǒng)，它主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報警系統(tǒng)等組成。

真空系統(tǒng)由一個分子泵（抽速600升/秒）+ 一個直聯(lián)旋片式真空泵（抽速9升/秒）組成抽氣系統(tǒng), 將真空室抽至高真空, 分子泵與真空室之間裝有一個手動插板閥, 直聯(lián)旋片式真空泵為真空室予抽泵及分子泵前級泵。直聯(lián)旋片式真空泵與真空室之間及與分子泵之間均采用不銹鋼硬管及波紋管連接, 并裝有電磁氣動隔斷閥。

射頻電源采用國產(chǎn)雙電源控制。

氣路系統(tǒng)采用四個質(zhì)量流量控制器控制四路氣體進氣。氣體管路采用1/4英寸不銹鋼硬管，管路接頭連接形式采用雙卡套連接。

本設(shè)備設(shè)有安全保護及報警系統(tǒng)。

二. 技術(shù)指標

1.極限真空度: 9×10^-5Pa（環(huán)境濕度≤55%）

2. 刻蝕材料: Si, SiO2, Si3N4等

3. 刻蝕速率： 0.01 ~ 2μ/min

4. 刻蝕均勻性: ≤±5％ (φ120mm范圍內(nèi))

5. 電極尺寸: φ200mm

6. 反應室尺寸：φ300×280mm

三．設(shè)備配置

1. 真空泵源: 分子泵一臺（抽速600升/秒）