測定潔凈室(區(qū))的風(fēng)速,風(fēng)速均勻性和送風(fēng)量要區(qū)分單向流和非單向流。單向流潔凈室(區(qū))需要給出風(fēng)速和風(fēng)速分布以及送風(fēng)量,通過測量風(fēng)量可以計算出換氣次數(shù)。風(fēng)速測點應(yīng)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm,通常情況下選取距高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面,測量點數(shù)取測量面積(以平方米計)10倍平分根,且不少于4個測量點,每個測試點不少于10s,記錄風(fēng)速的平均值、大值、小值。非單向流潔凈室(區(qū))應(yīng)逐一測量每個送風(fēng)口的風(fēng)量,為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,應(yīng)采用風(fēng)罩測量末端過濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量,記錄風(fēng)速的平均值、大值、小值,并計數(shù)換氣次數(shù)。鹽城電子廠房潔凈度測試
潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差,不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈室與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。壓差是保證潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境防止污染和交叉污染,排除外界污染影響的重要措施和手段。檢測時要求關(guān)閉所有門窗和隔斷,由高壓向低壓,由平面布置上距室外遠(yuǎn)(內(nèi)部)的房間開始,依次向外測定。測量點應(yīng)設(shè)在潔凈室中央,遠(yuǎn)離可能影響測點局部壓力的送回風(fēng)口。鹽城電子廠房潔凈度測試