等離子廢氣處理設備采用等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時，等離子體中的等離子起決定性的作用。流星雨狀的等離子與介質(zhì)內(nèi)分子（原理）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。當離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學鍵結(jié)合能時，分子鏈斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集。在等離子體中，可能發(fā)生各類型的化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質(zhì)內(nèi)分子濃度及共存的介質(zhì)成分。

等離子廢氣處理設備對氣態(tài)有機污染物的降解機理：

有足夠的能量來產(chǎn)生自由基，引發(fā)一系列復雜的物理、化學反應。由低 溫 等 離子體引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發(fā)、原子.分子間的相互結(jié)合及加成反應。這個能量足以使大多數(shù)氣態(tài)有機物中的化學鍵發(fā)生斷裂，從而使其降解。

從凈化空氣效率考慮，我們選擇了電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放電等離子體與吸附技術相結(jié)合的原理對有害氣體進行消除，其中等離子體主要用來去除硫化氫、氨、苯、甲苯、二甲苯、J醛、丙酮、尿烷、樹脂、等氣體及消毒滅菌，吸附材料主要用于去除二氧化碳以及臭氧等副產(chǎn)物。