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GSL-CKJS-560-B2磁控濺射

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間2020/12/18 11:57:00
  • 訪問次數(shù)361
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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國麻省理工學(xué)院的江曉平博士于
2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達(dá)科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自*SYJ-150低速金剛石切割機(jī)誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時(shí)至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要。

自動(dòng)化設(shè)備
GSL-CKJS-560-B2磁控濺射
GSL-CKJS-560-B2磁控濺射 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡介:高真空濺射可用于金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多種新型薄膜材料的制備,且具有設(shè)備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),可廣泛用于大專、科研院所的薄膜材料研究、制備。

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-CKJS-560-B2磁控濺射

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25±15,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注/氬氣(純度99.99%以上),需自備/氬氣氣瓶(自帶Ø10mm雙卡套接頭)及減壓閥

4、場地設(shè)備尺寸3500×1600mm,承重1000kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、真空度高。

2、可制備多種薄膜,金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等,應(yīng)用廣泛。

3、體積小,操作簡便。

4、清理安裝便捷。

5、控制可選一體化觸摸屏控制。

技術(shù)參數(shù)

1、主濺射室尺寸:Ø560×355mm梨形真空室

2、主濺射室真空度5×10-6Pa

3、進(jìn)樣室尺寸: Ø255×430mm

4、進(jìn)樣室真空度5×10-4Pa

5、永磁靶5套,靶材尺寸φ2,各靶射頻與直流濺射兼容(其中1個(gè)靶可濺射鐵磁材料

6、公轉(zhuǎn)樣品臺(tái)6個(gè)工位,5個(gè)水冷工位,1個(gè)加熱工位,加熱工溫度 600℃±1℃

7樣品尺寸:φ1,可放置6片

8、基片可加-200V負(fù)偏壓

9、進(jìn)樣室可一次性安裝6片樣品,可對被鍍樣品進(jìn)行退火處理,退火溫度 800℃±1℃

10、進(jìn)樣室可對基片進(jìn)行反濺清洗

11進(jìn)樣室和主濺射室之間通過磁力樣品機(jī)構(gòu)進(jìn)行樣品傳遞

產(chǎn)品規(guī)格

整機(jī)尺寸:2700×900mm×2000mm。

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

電源控制系統(tǒng)

1

2

真空獲得系統(tǒng)

1

3

真空測量裝置

1

關(guān)鍵詞:減壓閥
15168338725
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