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環(huán)保APP正式上線

VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間2020/12/18 14:59:57
  • 訪問(wèn)次數(shù)278
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國(guó)麻省理工學(xué)院的江曉平博士于
2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達(dá)科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自*SYJ-150低速金剛石切割機(jī)誕生以來(lái),沈陽(yáng)科晶便開(kāi)始了以趕超國(guó)外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時(shí)至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要。

自動(dòng)化設(shè)備
VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)
VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡(jiǎn)介 VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)可在手套箱內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作,用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。系統(tǒng)配置三個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源通過(guò)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)可以分別連接至任一靶頭,用于各類靶材的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,其不僅應(yīng)用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備,特別適用于實(shí)驗(yàn)室研究薄膜電池、固態(tài)電解質(zhì)及OLED等,與普通磁控濺射相比可以做Li靶材及鋰基材料靶材的鍍膜實(shí)驗(yàn),是新能源行業(yè)實(shí)驗(yàn)室鍍膜實(shí)驗(yàn)的理想設(shè)備。

 

產(chǎn)品名稱

VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)

主要特點(diǎn)

1、配置三個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源通過(guò)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)可以分別連接至任一靶頭,用于各類靶材的濺射鍍膜(靶槍可以根據(jù)客戶需要任何調(diào)換)。

2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。

3、體積小,操作簡(jiǎn)便。

4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì),真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì),可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。

5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源,可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍,也可多個(gè)電源單一控制靶槍(選配)。

6、可在手套箱內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作,更換各類易氧化的靶材用于鍍膜實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)

三靶磁控濺射部分

1、電源電壓:220V  50Hz

2、總功率:2.5KW

3、極限真空度:< E-6mbar(配合本公司機(jī)械泵設(shè)備使用可達(dá)到 E-3mbar)

4、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度)

5、靶槍數(shù)量:3個(gè)

6、靶槍冷卻方式:水冷

7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)

8、濺射電源功率:300W(射頻)/500W(直流)

9、載樣臺(tái):Ø140mm

10、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)

11、保護(hù)氣體:Ar、N2等惰性氣體

12、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣,1個(gè)流量為100 SCCM,1個(gè)流量為200 SCCM

手套箱部分

1、電源:?jiǎn)蜗郃C110V-220V  50Hz/60Hz

2、殼體材料:304不銹鋼

3、手套箱腔體:1220mm×760mm×900mm

4、前級(jí)室:設(shè)有2個(gè)前級(jí)室,大前級(jí)室Ø360mm×600mm,小前級(jí)室Ø150mm×300mm

5、腔體環(huán)境:水含量<1ppm(20℃,1atm),氧含量<1ppm(20℃,1atm)

6、工作氣體:N2、Ar、He等惰性氣體

7、控制氣體:壓縮空氣或惰性氣體

8、還原氣體:工作氣體和H2的混合氣(如果凈化系統(tǒng)只有除水功能,還原氣體與工作氣體相同)

9、氣體凈化系統(tǒng):德國(guó)BASF除氧材料、美國(guó)UOP高效吸水材料,凈化系統(tǒng)再生過(guò)程自動(dòng)控制,自動(dòng)除水、 除氧功能,可*、持續(xù)維持氣體純度在水<1ppm、氧<1ppm

10、壓力控制系統(tǒng):腔體氣壓可通過(guò)PLC觸摸屏自動(dòng)控制,控制精度為±1Pa,也可通過(guò)腳踏開(kāi)關(guān)進(jìn)行手動(dòng)控制

11、過(guò)濾系統(tǒng):進(jìn)、出氣端都裝有過(guò)濾器,過(guò)濾精度為0.3μm

12、控制系統(tǒng):SIEMENS彩色觸摸屏(6寸),PLC控制系統(tǒng),中英文雙語(yǔ)可切換;

 

水探頭采用美國(guó)GE品牌,0-1000ppm觸摸屏顯示,精度0.1ppm;

氧變送器采用美國(guó)AII品牌,0-1000ppm觸摸屏顯示,精度0.1ppm;

壓力傳感儀采用美國(guó)setra品牌,-2500-2500Pa觸摸屏顯示,精度±1Pa;

13、真空泵:采用英國(guó)EDWARDS品牌,抽速8.4m3/h-12m3/h

14、手套:美國(guó)NORTH品牌丁基合成橡膠

15、照明系統(tǒng):飛利浦品牌熒光燈管

產(chǎn)品規(guī)格

三靶磁控濺射部分:950mm×460mm×810mm

手套箱部分:2300mm×1500mm×1900mm

 

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