產(chǎn)品簡介：VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀是新自主研制開發(fā)的鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀配置三個(gè)靶槍，一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備，特別適用于實(shí)驗(yàn)室研究固態(tài)電解質(zhì)及OLED等。
產(chǎn)品名稱 | VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀 | ||
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-600-3HD | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套 接頭）及減壓閥 4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 | ||
主要特點(diǎn) | 1、配置三個(gè)靶槍，一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換）。 2、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。 3、體積小，操作簡便。 4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。 5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源電壓：220V 50Hz 2、總功率：＜2.5KW 3、極限真空度：< E-6mbar（配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到 E-5mbar） 4、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度） 5、靶槍數(shù)量：3個(gè) 6、靶槍冷卻方式：水冷 7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同） 8、直流濺射功率：500W（可選） 9、射頻濺射功率：300W/500W（可選） 10、載樣臺(tái)：Ø140mm 11、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào) 12、保護(hù)氣體：Ar、N2等惰性氣體 13、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣，1個(gè)流量為100 SCCM，1個(gè)流量為200 SCCM | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 主機(jī)尺寸：500mm×560mm×660mm，整機(jī)尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 直流電源控制系統(tǒng) | 2套 |
2 | 射頻電源控制系統(tǒng) | 1套 | |
3 | 膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng) | 1套 | |
4 | 分子泵（德國進(jìn)口） | 1臺(tái) | |
5 | 冷水機(jī) | 1臺(tái) | |
6 | 冷卻水管（Ø6mm） | 4根 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 掩膜版 振動(dòng)樣品臺(tái) | ||
