產(chǎn)品簡介：高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機(jī)組組成的CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為4″溫度可達(dá)1200℃，極限真空可達(dá) 10-5 torr，混氣系統(tǒng)可對1-9種氣體進(jìn)行精確的混合，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
產(chǎn)品型號 | 高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV | ||
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 | ||
主要特點(diǎn) | 1、爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度<60℃。 2、保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，延長使用壽命。 3、設(shè)有三個(gè)溫區(qū)，可獨(dú)立控溫，可設(shè)置50段升降溫程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)。 4、供氣系統(tǒng)與真空機(jī)組置于移動架內(nèi)，方便移動。 5、真空系統(tǒng)采用一鍵操作，按下“start”鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動，待真空度達(dá)到 10-2mbar后分子泵自動啟動）。 6、根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率。 7、已通過CE認(rèn)證。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1、電源：AC 208V-240V單相 50Hz/60Hz 7KW 2、爐管：高純石英管，外徑Ø100mm×內(nèi)徑Ø92mm×1400mm 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯 4、加熱區(qū)：溫區(qū)I長220mm，溫區(qū)II長440mm，溫度III長220mm，總長880mm 5、恒溫區(qū)：500mm（三個(gè)溫區(qū)設(shè)為同一溫度時(shí)） 6、工作溫度1200℃，連續(xù)工作1100℃ 7、大升溫速率：≤20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：3根K型熱電偶 | ||
高真空機(jī)組 1、輸入電源：AC110V或AC220V可切換 50Hz/60Hz 2、消耗功率：110W 3、殼體尺寸：600mm×600mm×700mm 4、大承重量：270kg 5、抽氣速率：N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s 6、工作范圍：1000mbar-<10-7mbar 7、極限真空度：10-5torr 8、數(shù)字式真空顯示計(jì)：10-8mbar-103mbar | |||
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng) 1、質(zhì)量流量計(jì)：9通道精密質(zhì)量流量計(jì) 2、流量計(jì)范圍：10sccm-1000sccm三個(gè)，20sccm-200sccm三個(gè)，30sccm-10sccm三個(gè) 3、壓力表：3個(gè)，用來檢測混合氣體壓力 | |||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：爐體550mm×380mm×520mm，高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm， 質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm 重量：100kg | ||
真空配件 | 1 | 不銹鋼真空密封法蘭 | 2個(gè) |
2 | 精密針閥 | 2個(gè) | |
3 | 1/4″軟管接頭 | 1個(gè) | |
4 | 高溫硅膠O型密封圈可承受300℃） | 6個(gè) | |
5 | 氧化鋁管堵 | 1套 | |
6 | KF-40真空波紋管 | 1根 | |
7 | KF-40快速卡箍 | 3個(gè) | |
8 | KF-25卡箍 | 2個(gè) | |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì) | ||
