產(chǎn)品簡(jiǎn)介：1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成工作溫度可達(dá)1700℃，混氣系統(tǒng)可以對(duì)三種氣體進(jìn)行精確的混氣，真空度可達(dá)5×10-2 torr。
產(chǎn)品型號(hào) | 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV |
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 |
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。 2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，有效減少能量損失。 3、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命。 4、采用PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC 208V-240V 50Hz/60Hz 5KW 2、爐管：99.8%高純氧化鋁陶瓷管，外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø72mm，長(zhǎng)1000mm 3、加熱元件：1800℃級(jí)硅鉬棒8根 4、加熱區(qū)域：457mm 5、恒溫區(qū)域：150mm 6、工作溫度：1700℃ 7、大升降溫速率：5℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、真空度：5×10-2 torr 10、泄漏率：大6mtorr/min |
真空系統(tǒng) 1、真空泵：雙旋片機(jī)械泵 2、可達(dá)真空度：5×10-2 torr 3、法蘭：不銹鋼密封法蘭 4、針閥：2個(gè)不銹鋼針閥 5、真空泵接口：KF-25 6、軟管接頭：1/4″ 7、真空顯示計(jì)：LED數(shù)字式真空顯示計(jì)，測(cè)量范圍0.1mtorr-850torr | |
浮子流量混氣系統(tǒng) 1、浮子流量計(jì)：3個(gè)，精確度4%FS 2、流量計(jì)范圍：10cc/min-100cc/min，16cc/min-160cc/min，25cc/min-250cc/min 3、壓力表：1個(gè)，監(jiān)測(cè)混合氣體壓力 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：管式爐550mm×500mm×700mm，混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm， 真空機(jī)組600mm×600mm×700mm 重量：210kg |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì) |
