臭氧是一種強(qiáng)氧化性物質(zhì)，被廣泛用于水處理，半導(dǎo)體等行業(yè)。臭氧發(fā)生器能夠產(chǎn)生20％甚至更高的濃度，過高的臭氧濃度對(duì)人體，設(shè)備和管道都是有害的，所以通常需要臭氧尾氣處理設(shè)備來(lái)處理多余的臭氧。美國(guó)IN USA公司生產(chǎn)的臭氧尾氣處理裝置可以分解臭氧，使之達(dá)到安全濃度(0.1ppm/8Hr day)。IN USA尾氣處理裝置采用催化方式，它是一種類放熱反應(yīng)過程：
O3 ®3/2O2DH=-34kcal
CAT臭氧尾氣處理器催化劑參與反應(yīng)但并不被消耗掉，它使反應(yīng)速度加快。催化劑能提高效率是因?yàn)樗梢苑磻?yīng)所需要的激活能量，這種激活能量就是把臭氧原子帶到反應(yīng)區(qū)重組成氧原子所需要的能量。IN USA公司采用以MnO2為基礎(chǔ)的化合物作為催化劑來(lái)實(shí)現(xiàn)這一功能，被催化的氣體在固體表面實(shí)現(xiàn)重組。催化反應(yīng)的效率跟溫度，濕度等有關(guān)，也容易被一些化學(xué)物質(zhì)干擾，產(chǎn)生中毒現(xiàn)象，從而降低了催化反應(yīng)效率。有些化學(xué)物質(zhì)，如鹵素、碳?xì)浠衔铩⒘?、磷、NOx會(huì)被催化劑吸附造成不可逆轉(zhuǎn)的反應(yīng)從而使催化劑中毒，降低反應(yīng)效率，減少使用壽命，所以在使用臭氧尾氣處理裝置前，確保這些物質(zhì)已經(jīng)被去除。
CAT臭氧尾氣處理器預(yù)加熱到100℃以上可以阻止NH3和水汽對(duì)設(shè)備造成的影響，可以獲得額外的效果。水汽容易附著在催化劑表面從而降低使用效率，因?yàn)樗街诖呋瘎┥先菀资勾呋瘎?rdquo;蛋糕化”，造成*性流量阻塞，如果出現(xiàn)這種情況，就不得不進(jìn)行再生。
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