日本富士工業(yè)fuji單組分密度計FUD-1 Model-130
產(chǎn)品總覽
該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢（例如可維護性和高精度的在線測量）的同時，還具有用于半導(dǎo)體制造過程的小型單元變送器。
單組分密度計的特點
可以進行實時濃度測量，并且很容易建立濃度控制系統(tǒng)。
- 配備模擬DC 4至20mA和數(shù)字RS232C作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
- 標(biāo)配測量誤差輸出和報警輸出
- 配備自診斷功能和錯誤信息顯示為標(biāo)準(zhǔn)配置
- 小巧輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上
- 由于使用PFA的潤濕部件的質(zhì)量和小產(chǎn)量設(shè)計，因此對化學(xué)溶液沒有影響。?
優(yōu)點
- 高精度連續(xù)測量
- 免維護，無需定期調(diào)整和校準(zhǔn)
- 易于安裝，無需在安裝過程中進行各種調(diào)整
- 通過實時輸出輕松反饋到過程?
用途
- CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等
- 控制稀釋過程中各種化學(xué)品的濃度（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）
- 清潔過程中的清潔液濃度控制（HF，NH4OH，KOH，IP
?日本富士工業(yè)fuji單組分密度計FUD-1 Model-130
規(guī)格
| 格式 | FUD-1模型13 | |
| 測量參數(shù) | 超聲波傳播速度/溫度 | |
| 展示 | LCD（濃度/溫度/聲速/各種參數(shù)） | |
| 輸出信號 | 模擬DC4至20mA（可以自由設(shè)置濃度值） 數(shù)字RS232C（濃度/溫度/聲速/錯誤代碼） 警報上/下限測量錯誤 | |
| 電源供應(yīng) | AC100V-240V 50 / 60Hz（也可以使用DC24V） | |
| 建造 | 面板安裝類型（符合DIN標(biāo)準(zhǔn)），板載安裝類型（可以選裝在防雨箱中） | |
| 環(huán)境溫度 | 0至50°C相對濕度85％以下（無冷凝） 0至100°C特殊規(guī)格-10至160°C（100°C寬度） | |
| 功能 | 輸出范圍設(shè)置，警報輸出設(shè)置，濃度顯示移動平均值，濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能，自診斷功能，故障保護功能，異常值取消 RS485輸出（不能與RS232C同時輸出） | |
| 選項 | 溫度輸出（DC4-20mA） | |
| 渠道 | 高達10ch | |
| 兼容發(fā)射器 | 型號13 ： SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5 | |
