通過(guò)高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立”。
日立高新鎢燈絲掃描電鏡SU3500具有實(shí)現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊1, 以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器”＊1。
它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1：自選
特點(diǎn)
低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高，可更好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2，自動(dòng)功能縮短＊3了大約11秒
具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD（超高靈敏度可變壓力探測(cè)器）”＊4
具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊4
（*2）：和日立SEM S-3400N相比
（*3）：根據(jù)觀察條件的不同，時(shí)間會(huì)有變動(dòng)
（*4）：自選
規(guī)格
項(xiàng)目 | 描述 | |
| 二次電子分辨率 | 3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式） | |
| 7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 背散射電子分辨率 | 4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式） | |
| 10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍（底片倍率＊5） | |
| 7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6） | ||
| 加速電壓 | 0.3 - 30kV | |
| 可變壓力范圍 | 6 - 650Pa | |
| 樣品尺寸 | 直徑 200mm | |
| 樣品臺(tái) | X | 0 - 100mm |
| Y | 0 - 50mm | |
| Z | 5 - 65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 可觀察區(qū)域 | 直徑 130mm （旋轉(zhuǎn)并用） | |
| 樣品高度 | 80mm（WD=10mm） | |
| 馬達(dá)臺(tái) | 5軸標(biāo)配 | |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中的鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可動(dòng)光闌 | |
| 探檢測(cè)器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器 | |
| 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 | ||
| EDX分析 WD | 10mm（取出角35°） | |
| 圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式（1,280 × 960 像素） | |
| 小屏模式（800 × 600 像素） | ||
| 雙圖像顯示（800 × 600 像素） | ||
| 四屏幕顯示（640 × 480像素） | ||
| 信號(hào)混合模式 | ||
| 排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)排氣 |
| 渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
| 機(jī)械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 | |
