氣體介質(zhì)要求：潔凈、干燥、無腐蝕性的氣體

介質(zhì)種類：Air、N₂、O₂、CO₂、H₂等

量程：0~100sccm；0~500sccm

可控流量范圍：0~102%F.S.

精度：±（0.8%RD+0.2%F.S.）RD?讀數(shù)；F.S.?滿量程

溫漂：±0.12%/℃

重復(fù)性：±0.5%

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.05%F.S./年

響應(yīng)時間（T90）：＜1s

標(biāo)定工況：20℃，1個大氣壓

工作溫度：0~50℃

工作濕度：＜90%，無冷凝

工作壓力：1MPa

輸出信號：RS-485；RS-232（可定制）

供電電壓：12VDC

材質(zhì)：主體材質(zhì)為鋁合金、閥體材質(zhì)為黃銅、密封材質(zhì)為FKM（Viton）

過程連接尺寸和類型：1/8"NPT外螺紋

安裝方式；對位置無要求