CAT系列臭氧尾氣破壞器能夠安全的分解高濃度臭氧到亞ppm濃度級，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于推薦的安全臭氧濃度。該儀器使用金屬氧化物被動催化臭氧轉(zhuǎn)化為氧氣。CAT-O3系列臭氧破壞器的外殼由不銹鋼焊接而成，并配有熱屏蔽層。該設(shè)備的設(shè)計能夠滿足行業(yè)內(nèi)嚴(yán)格的安全標(biāo)準(zhǔn)。
CAT系列臭氧尾氣破壞器特征
1、全焊接結(jié)構(gòu)
2、安裝簡單
3、反應(yīng)時間快
4、無耗材
應(yīng)用
化學(xué)氣相沉積(CVD) 硅酸乙酯/臭氧(TEOS/O3)
原子層沉積(ALD)
有機(jī)金屬化合物化學(xué)氣相沉積
（MOCVD）
灰化(Ashers)
濕法處理流程(Wet Benches)
噴涂工具
臭氧具有的強(qiáng)氧化性是因為臭氧分子中氧原子具有強(qiáng)親電子或親質(zhì)子性。臭氧分解后產(chǎn)生新生態(tài)氧原子，在水中可形成具有強(qiáng)氧化作用基團(tuán)-羥基自由基，可快速除去廢水中的有機(jī)污染物，而自身分解為氧，不會造成二次污染。
目前認(rèn)為臭氧與有機(jī)物的反應(yīng)有2種途徑：
（1） 臭氧以氧分子形式與水體中的有機(jī)物直接反應(yīng)。
該方法選擇性較強(qiáng)，一般攻擊帶有雙鍵的有機(jī)物，對芳香烴類和不飽和脂肪烴有機(jī)化合物的效果更好。
（2） 堿性條件下臭氧在水體中分解后產(chǎn)生氧化性很強(qiáng)的羥基自由基等中間產(chǎn)物，羥基自由基與有機(jī)化合物發(fā)生氧化反應(yīng)。
該氧化方式無選擇性。
