產(chǎn)品簡介:
ULVAC ei-5z系列高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備是一款可同時安裝電子束蒸發(fā)和熱蒸發(fā)源的多功能蒸發(fā)臺,可用于各種金屬、合金、非金屬蒸發(fā)鍍膜,可做垂直入射蒸發(fā)工藝,可做穿墻式設(shè)計,采用全自動控制,穩(wěn)定,高效。
主要技術(shù)參數(shù):
·適用于2-8inch各種形狀的Si、GaAs、玻璃陶瓷等基板;
·采用低空泵,可在20min內(nèi)達到3.0*10-4Pa,極限壓強可達3.0*10-5Pa或更低;
·采用電子束或熱蒸發(fā)源,擋板共用;
·膜厚均勻性好于±5%;