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Bruker ContourGT-K 白光干涉儀

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公司名稱亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2021/6/30 8:24:07
訪問次數(shù)312

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公司介紹主營產(chǎn)品

亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）成立于1998年，公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù)；目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團隊，專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、*封裝（TSV、Fan-out等）、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備，還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。　　目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系（如：BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等），為向客戶提供*的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。　　亞科電子目前客戶遍及國內(nèi)所有科研院所、高校和研發(fā)制造企業(yè)，已成功地服等各研究所；清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等各大高校；三安集成、華潤微電子等多個制造企業(yè)。　　亞科電子歷年來秉承“專業(yè)服務(wù)，全面服務(wù)”的宗旨，為客戶提供整套技術(shù)工藝和設(shè)備方案。通過專業(yè)的技術(shù)服務(wù)，實現(xiàn)了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)是我們成功的基石，亞科電子期待與更多國內(nèi)外客戶的合作。

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Bruker ContourGT-K 白光干涉儀

Bruker ContourGT-K 白光干涉儀產(chǎn)品信息

【產(chǎn)品簡介】

ContourGT-K 三維光學(xué)輪廓儀具有完善的表面測量和分析功能，擁有工業(yè)的測量性能和靈活性。采用白光干涉技術(shù)，超大視野內(nèi)埃級至毫米級的垂直計量量程，具有業(yè)界的垂直分辨率和測量重復(fù)性。其直觀的用戶界面方便用戶快速高效的獲得材料表面粗糙度、二維 / 三維表面輪廓以及多種高精度數(shù)據(jù)，廣泛應(yīng)用于 IC 半導(dǎo)體、LED、太陽能電池、薄膜材料、MEMS、精密機械零部件、摩擦磨損等各個領(lǐng)域，滿足各種表面測量的實際需求。

【主要應(yīng)用】

1、用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量；

2、廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領(lǐng)域的測量。

【主要參數(shù)】

垂直量程	0.1nm 至 10mm（閉環(huán)無拼接）
垂直分辨率	0.1nm
電動樣品臺移動范圍	±150mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動
橫向取樣間隔	0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 )
光學(xué)橫向分辨率	350nm
臺階測試精度	0.75%
臺階重復(fù)性	<0.1% 1σ
傾斜調(diào)整	手動樣品臺調(diào)節(jié) ± 6°
垂直掃描速度	47um / 秒，用戶可自行設(shè)定
轉(zhuǎn)塔調(diào)節(jié)	手動自動可選
分析軟件功能	可進行兩維和三維分析，多區(qū)域自動分析（可對目標區(qū)域進行統(tǒng)計編號，可自動分析目標區(qū)域內(nèi)高度或深度分布情況），可分析表面粗糙度，可分析樣品表面缺陷及臺階高度，并可對多次測量數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計，得到詳細的統(tǒng)計報告（含平均值，方差，最小值，值等）?？蛇M行編程自動多點測量?？商峁┑臄?shù)據(jù)包括高逼真度的三維圖像，二維剖面圖，以及大量完整的表面粗糙度參數(shù)。