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Bruker ContourGT-X白光干涉儀

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公司名稱亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2021/6/30 8:25:54
訪問次數(shù)525

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公司介紹主營產(chǎn)品

亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）成立于1998年，公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù)；目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團隊，專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、*封裝（TSV、Fan-out等）、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備，還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案?！　∧壳皝喛齐娮右雅c眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系（如：BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等），為向客戶提供*的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。　　亞科電子目前客戶遍及國內(nèi)所有科研院所、高校和研發(fā)制造企業(yè)，已成功地服等各研究所；清華大學、北京大學、復(fù)旦大學等各大高校；三安集成、華潤微電子等多個制造企業(yè)。　　亞科電子歷年來秉承“專業(yè)服務(wù)，全面服務(wù)”的宗旨，為客戶提供整套技術(shù)工藝和設(shè)備方案。通過專業(yè)的技術(shù)服務(wù)，實現(xiàn)了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)是我們成功的基石，亞科電子期待與更多國內(nèi)外客戶的合作。

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Bruker ContourGT-X白光干涉儀

Bruker ContourGT-X白光干涉儀產(chǎn)品信息

【產(chǎn)品簡介】

ContourGT-X 是實驗室研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)均可適用的高性能儀器。它積累了代產(chǎn)品在白光干涉技術(shù)上的創(chuàng)新，實現(xiàn)了快速地三維表面測量，從納米級表面粗糙度測量到毫米級臺階的測量，垂直分辨率可達亞納米級?？删幊痰?XYZ 控制和*的掃描頭自動控制，使得儀器測試空間極大的拓展，多種自動化功能，使操作使用簡便易行。配備的 Vision64 軟件，具有業(yè)界的數(shù)據(jù)分析功能，其優(yōu)化設(shè)計的用戶界面為使用者自行定義測量和數(shù)據(jù)分析提供了極大的便利。內(nèi)部激光自校準技術(shù)可以自動校準因環(huán)境或機械不穩(wěn)定產(chǎn)生的漂移，無需標準塊，減少使用成本保證測試的精準度。

【主要應(yīng)用】

1、用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量；

2、廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領(lǐng)域的測量。

【主要參數(shù)】

垂直量程	0.1nm 至 10mm（閉環(huán)無拼接）
垂直分辨率	0.01nm
電動樣品臺移動范圍	±200mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動
橫向取樣間隔	0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 )
光學橫向分辨率	350nm
臺階測試精度	0.75%
臺階重復(fù)性	<0.1% 1σ
傾斜調(diào)整	自動鏡頭調(diào)節(jié) ± 6°
垂直掃描速度	117um / 秒，用戶可自行設(shè)定
機器校準方式	激光自校準（可選）
聚焦功能	鏡頭自動聚焦，自動調(diào)節(jié)干涉條紋光強