真空測量與控制
如今，此儀表用于能夠測量的真空壓強范圍從大氣壓(約 1000 mbar (750 Torr)) 直到 10-12mbar/ 0.75•10-12 Torr，即1015范圍。
1. 真空計
a. 帶機械顯示的真空計
一般情況下，機械式真空計的壓力顯示是由作用在隔膜表面的壓力決定的。是直接的壓力測量（壓力）。
產(chǎn)品型號 |
BOURDONVAC A | Capsule vacuum gauge |
DIAVAC DV 1000 |
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主要特點 | 壓強范圍: 1 - 1020 mbar | 壓強范圍: 1 - 100 mbar | 刻度 mbar | 刻度 Torr |
b. 手持式真空計
一般情況下，機械式真空計的壓力顯示是由作用在隔膜表面的壓力決定的。是直接的壓力測量（壓力）。
壓強范圍: 5 x 10-4 mbar - 1200 mbar
接口法蘭: DN 16 ISO-KF
2.主動/被動型傳感器
a.變送器
主動型傳感器（CERAVAC,THERMOVAC,PENNINGVAC 和IONIVAC)直接集成于真空系統(tǒng)，顯示和操作單元可選，被動型傳感器不能單獨顯示和操作。
產(chǎn)品型號 | 描述 | 主要特征 |
CERAVAC-變送器 | CTR電容薄膜真空計,測量范圍1000到10-5 豪巴。采用純焊接Inconel®傳感器，具有*精度（高達0.12%）和測量重復(fù)性。CTR真空計的耐腐蝕能力也使其廣泛適用于嚴苛環(huán)境和腐蝕性環(huán)境。 | ·壓強范圍: 1 x 10-1 Torr - 1000 Torr |
THERMOVAC-變送器 | THERMOVAC 變送器基于*的MEMS技術(shù)和皮拉尼原理設(shè)計，具有*性價比。測量范圍從10-5到1500豪巴之間。THERMOVAC變送器耐沖擊、耐振動，測量重復(fù)性好。 | ·壓強范圍: 5 x 10-5 mbar - 1000 mbar |
PENNINGVAC-變送器 | PENNINGVAC 變送器是PTR結(jié)合了冷陰極電離原理與MEMS-皮拉尼真空規(guī)原理的全量程真空規(guī)。一臺變送器就能測量從1×10-8 mbar到大氣壓的壓強范圍。具有設(shè)計緊湊，量程寬泛，性價比高等特點。 | ·壓強范圍: 1 x 10-9 mbar - 1 x 10-2 mbar |
IONIVAC-Combi-變送器 | 電離變送器ITR是基于BA原則的主動型傳感器（壓力值轉(zhuǎn)換電壓值）。熱陰極發(fā)射電子轟擊陰極，撞擊到的氣體分子會被電離。 | ·壓強范圍: 5 x 10-10 mbar - 1000 mbar |
b. 被動型傳感器
以下產(chǎn)品只是被動傳感器中的一小部分，了解更多，請聯(lián)系我們。
THERMOVAC | PENNINGVAC |
壓強范圍: 5 x 10-4 mbar - 1000 mbar |
壓強范圍: 1 x 10-9 mbar - 10-2 mbar |
壓強范圍: 5 x 10-4 mbar - 1000 mbar | 壓強范圍: 1 x 10-9 mbar - 10-2 mbar |
壓強范圍: 5 x 10-4 mbar - 1000 mbar | 壓強范圍: 1 x 10-9 mbar - 10-2 mbar |
壓強范圍: 5 x 10-4 mbar - 1000 mbar |
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3. 超高真空計
3通道顯示真空計控制器IONIVAC IM 540結(jié)合了4種不同的測量原理（皮拉尼、電容薄膜、BA熱陰極和Extractor熱陰極），可以測量從10-12 mbar到大氣壓之間的真空壓強。
傳感器：
真空計控制器IONIVAC IM 540 | IONIVAC 傳感器 |
IONIVAC IM 540 - 美洲/歐洲版 - 115V/230V 壓強范圍: 1 x 10-12 mbar - 1100 mbar 電源供電: 90 - 264V AC, 50/60Hz | 壓強范圍: 2 x 10-11 mbar - 1 x 10-2 mbar |
| 壓強范圍: 2 x 10-12 mbar - 1 x 10-4 mbar |
